芯三代半导体科技(苏州)有限公司韩跃斌获国家专利权
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龙图腾网获悉芯三代半导体科技(苏州)有限公司申请的专利一种碳化硅外延片的检测方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116092963B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211585772.7，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权一种碳化硅外延片的检测方法及装置是由韩跃斌;施建新;李俊涛;闫鸿磊;蒲勇设计研发完成，并于2022-12-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种碳化硅外延片的检测方法及装置在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体技术领域，公开一种碳化硅外延片的检测方法及装置。该方法包括：自动传输单元将外延片自动运送到检测单元，检测单元对外延片进行膜厚和载流子浓度检测，并将检测结果发送至数据采集、处理单元，数据采集、处理单元对接收到的数据与预设的目标数据进行对比分析，若偏差在允许范围内，则不做调整；若偏差不在允许范围内，则将计算结果反馈至外延生长控制单元，调整外延设备工艺参数。该方法利用传输单元进行外延片的自动拿取及传输，提高生产效率，且可提升外延片的片间一致性。
本发明授权一种碳化硅外延片的检测方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种碳化硅外延片的检测方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤： 自动传输单元将外延片自动运送到检测单元， 所述检测单元对外延片进行膜厚和载流子浓度检测，并将检测结果发送至数据采集、处理单元， 数据采集、处理单元接收并响应接收到的数据并将其与预设的目标数据进行对比分析， 若偏差在预设的范围内，则不做调整； 若偏差不在预设的范围内，则将计算结果反馈至外延生长控制单元，所述外延生长控制单元以调整外延设备的工艺参数； 所述检测单元为在线检测单元，所述自动传输单元将外延片从所述外延设备中取出并自动运送到在线检测平台实时检测； 基于FTIR傅里叶红外光谱检测仪器对所述碳化硅外延片的膜厚进行检测，并将检测的信息反馈至数据采集、处理单元； 基于汞探针CV在线检测仪器对所述碳化硅外延片载流子浓度进行检测，并将检测的信息反馈至数据采集、处理单元。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯三代半导体科技(苏州)有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区苏慕路104号S栋；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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