中国人民解放军国防科技大学陈善勇获国家专利权
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龙图腾网获悉中国人民解放军国防科技大学申请的专利基于光镊微球的白光干涉扫描超分辨测量装置及应用方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116295102B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310223374.9,技术领域涉及:G01B11/24;该发明授权基于光镊微球的白光干涉扫描超分辨测量装置及应用方法是由陈善勇;戴一帆;陈威威;熊玉朋;陈俊任;赵志成设计研发完成,并于2023-03-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于光镊微球的白光干涉扫描超分辨测量装置及应用方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于光镊微球的白光干涉扫描超分辨测量装置及应用方法,本发明的测量装置包括光束生成单元、第一分光棱镜、第一显微物镜、第二显微物镜、光束反射单元、图像采集单元、样品调整台、被测件和微球透镜,光束反射单元包括遮光板,在遮光板遮挡光束反射单元的状态下,采集被测件的目标区域表面反射的激光以实现对被测件的横向二维超分辨成像;在遮光板未遮挡光束反射单元的状态下,采集被测件的目标区域表面反射的激光与反射单元的反射光干涉以实现对被测件的目标区域的三维形貌测量。本发明将激光光镊技术引进微球透镜超分辨技术与白光干涉显微技术相结合,能够实现对被测件的超分辨、高精度、灵活和高效的二维或三维形貌测量。
本发明授权基于光镊微球的白光干涉扫描超分辨测量装置及应用方法在权利要求书中公布了:1.一种基于光镊微球的白光干涉扫描超分辨测量装置,其特征在于,包括光束生成单元、第一分光棱镜10、第一显微物镜8、第二显微物镜9、光束反射单元、图像采集单元、样品调整台25、被测件19和微球透镜26,所述被测件19设于样品调整台25上,所述微球透镜26设于被测件19表面上,所述光束生成单元用于生成光镊光束和成像光束,所述光镊光束通过第一显微物镜8聚焦形成镊尖以用于捕获被测件19表面的微球透镜26并置于被测件19的目标区域,被测件19的目标区域表面反射的激光射入第一分光棱镜10,所述光束反射单元包括一可拆卸的遮光板28,在遮光板28遮挡光束反射单元的状态下,被测件19的目标区域表面反射的激光经过第一分光棱镜10后直接被图像采集单元采集以实现对被测件19的目标区域的横向二维超分辨成像;在遮光板28未遮挡光束反射单元的状态下,被测件19的目标区域表面反射的激光与成像光束通过第二显微物镜9照射到光束反射单元反射回来的反射光在第一分光棱镜10处发生干涉被图像采集单元采集以实现对被测件19的目标区域的三维形貌测量。
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