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龙图腾网获悉盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司;东能(沈阳)能源工程技术有限公司申请的专利一种基于电压控制的辐射加热灯温度控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116347678B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310108794.2，技术领域涉及：H05B1/02；该发明授权一种基于电压控制的辐射加热灯温度控制方法是由祁广杰;王昕;赵丽新;高文文;初春;林淼设计研发完成，并于2023-02-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于电压控制的辐射加热灯温度控制方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种基于电压控制的辐射加热灯温度控制方法，具体涉及半导体技术领域。该方法首先通过热仿真软件计算出每组加热灯的电压值和测得的温度，并通过上述两组数据求出回归矩阵；然后锁定光学测温计的辐射率，求得各个测温点的校正系数后，再得出每个测温点的校正后温度值；通过仿真得到各组加热灯的热有效系数，并求得各组加热灯的真实电压；最后，根据回归矩阵得到第一次迭代的输入值后，通过循环迭代法求出各组加热灯的理想电压值。该方法无需人为手动计算，只需要在最初的第一个循环阶段通过仿真计算出各组加热灯的初始电压值，便可以通过自动迭代的方式逐步优化算法，满足晶圆加热对时间效率和温度均匀度的要求。

本发明授权一种基于电压控制的辐射加热灯温度控制方法在权利要求书中公布了：1.一种基于电压控制的辐射加热灯温度控制方法，其特征在于，包括以下步骤： 步骤1确定所需的内存分配，选定合适的单片机并分布不同功能块内存地址以及初始化相关数据； 步骤2进行初步加热仿真实验； 计算出在给定初始温度时，每组加热灯j应该设定多大的电压才能保证在规定的加热时间内使晶圆达到最终规定温度，并在每组仿真实验结束后，把每组加热灯的电压值记录下来； 步骤3通过仿真实验中每组加热灯的电压值和每个测温点的温度值数据，依靠线性回归法计算出回归矩阵B； 步骤4引入系数,用来表示每个测温点i的校正系数；通过对每个测温点强制锁定辐射率，获得不同温度下几个测温点的理想值以及真实值，并根据以上数据拟合出各个测温点的校正系数，最终计算出校正后的温度值=*，其中为测温点i测得的原始温度值； 步骤5引入热有效系数，代表第j组加热灯的实际加热有效率，并根据多组仿真，分别求得各组灯的热有效系数；每组加热灯的真实电压计算公式如下: 1 其中，为步骤2仿真中求得的第j组加热灯的电压设定值； 步骤6初始化第一次迭代的各组加热灯的电压值； 步骤7根据对应的测温点的温度迭代优化各组加热灯的电压值。

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