郑州大学邵刚获国家专利权
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龙图腾网获悉郑州大学申请的专利一种电容式压力传感器及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116519174B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310509431.X,技术领域涉及:G01L1/14;该发明授权一种电容式压力传感器及其制备方法是由邵刚;熊春月;马超;韩道洋;蒋俊鹏;王海龙;张锐设计研发完成,并于2023-05-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种电容式压力传感器及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明涉及压力传感器技术领域,具体涉及一种聚合物先驱体转化陶瓷电容式压力传感器及其制备方法。该电容式压力传感器包括上极板和下极板,上极板的下表面和下极板的上表面分别设置了位置对应的微米级阵列柱结构,微米级阵列柱结构形成了微阵列复合电极,微米级阵列柱结构连接有导线。本发明的电容式压力传感器将陶瓷的耐腐蚀、耐高温、高强度等特性与电容的高灵敏度、长寿命等特点相结合,兼具了陶瓷与电容结构的优点,在高温极端环境中得到广泛应用。
本发明授权一种电容式压力传感器及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种电容式压力传感器,其特征在于,包括: 下极板,上表面上连接有支撑固定框; 上极板,设置在支撑固定框上; 上极板、支撑固定框和下极板之间围绕形成封闭空腔; 上极板的下表面和下极板的上表面分别设置了位置对应的微米级阵列柱结构,微米级阵列柱结构形成了微阵列复合电极,微米级阵列柱结构连接有导线; 所述上极板和下极板是镀有金属的陶瓷膜片,在上极板的上表面设置压头;所述陶瓷膜片为聚合物先驱体转化SiBCN、SiAlCN、SiAlBCN、SiCN、SiOC陶瓷中的一种或它们的组合。
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