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龙图腾网获悉东芝三菱电机产业系统株式会社申请的专利活性气体生成装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116670324B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180085674.4，技术领域涉及：H05H1/24；该发明授权活性气体生成装置是由渡边谦资;有田廉设计研发完成，并于2021-12-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本活性气体生成装置在说明书摘要公布了：本发明的目的在于提供活性气体生成装置，能够均等地喷出相等自由基浓度的活性气体。本发明的活性气体生成装置中的单向放电构造61s满足以下的配置条件a～c。条件a为在对应间隙区域23p内，对应金属电极10p与对应金属电极20p在平面观察时重叠的区域成为对应放电空间6p。条件b为对应间隙区域23p与设置于对应气体供给区域12Rp的多个气体供给孔12在平面观察时重叠。条件c为设置于对应气体供给区域12Rp的多个气体供给孔12与设置于对应间隙区域23p之下的多个气体喷出孔22在平面观察时隔着对应放电空间6p沿着Y方向一对一地对置配置。

本发明授权活性气体生成装置在权利要求书中公布了：1.一种活性气体生成装置，生成使供给到放电空间的原料气体活化而得到的活性气体，具备： 第一电极构成部；以及 第二电极构成部，设置在上述第一电极构成部的下方， 上述第一电极构成部具有第一电极用介电膜、以及形成在上述第一电极用介电膜的上表面上的多个第一金属电极， 上述第二电极构成部具有第二电极用介电膜、以及形成在上述第二电极用介电膜的下表面上的多个第二金属电极， 上述多个第一金属电极被施加交流电压，上述多个第二金属电极被设定为基准电位， 上述第一电极用介电膜具有沿着第一方向配置的多个气体供给区域，上述多个气体供给区域分别具有沿着第二方向以均等间隔设置的多个气体供给孔，上述第二方向与上述第一方向交叉， 上述多个第一金属电极沿着上述第一方向配置，上述多个第一金属电极分别沿着上述第二方向延伸形成， 上述第二电极用介电膜具有沿着上述第一方向配置的多个放电场形成区域，上述多个放电场形成区域分别具有从上述第二电极用介电膜的表面凹陷的凹陷区域，且沿着上述第二方向延伸设置，在上述多个放电场形成区域各自的下方设置有多个气体喷出孔，上述多个气体喷出孔沿着上述第二方向以均等间隔设置， 上述多个第二金属电极沿着上述第一方向配置，上述多个第二金属电极分别沿着上述第二方向延伸形成， 上述放电空间包括多个放电空间， 上述多个第一金属电极、上述多个气体供给区域、上述多个第二金属电极、上述多个放电场形成区域以及上述多个放电空间相互一对一地对应， 上述多个第一金属电极、上述多个第二金属电极、上述多个气体供给区域、上述多个放电场形成区域以及上述多个放电空间中的、对应的第一金属电极、第二金属电极、气体供给区域、放电场形成区域以及放电空间，被定义为第一对应金属电极、第二对应金属电极、对应气体供给区域、对应放电场形成区域以及对应放电空间， 包含上述第一对应金属电极、上述第二对应金属电极、上述对应气体供给区域、上述对应放电场形成区域以及上述对应放电空间而构成沿着上述第二方向的单向放电构造， 上述单向放电构造满足以下的配置条件a～c， a在上述对应放电场形成区域内，上述第一对应金属电极与上述第二对应金属电极在平面观察时重叠的区域成为上述对应放电空间， b上述对应放电场形成区域与设置于上述对应气体供给区域的上述多个气体供给孔在平面观察时重叠， c设置于上述对应气体供给区域的上述多个气体供给孔与设置于上述对应放电场形成区域之下的上述多个气体喷出孔在平面观察时隔着上述对应放电空间沿着上述第一方向而一对一地对置配置。

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