电子科技大学太惠玲获国家专利权
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龙图腾网获悉电子科技大学申请的专利一种弹性体拉伸型氢气传感器及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116773609B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310509751.5,技术领域涉及:G01N27/12;该发明授权一种弹性体拉伸型氢气传感器及其制备方法是由太惠玲;梁峻阁;袁震;李勇亮;蒋亚东;阳瑞霖;张建萍设计研发完成,并于2023-05-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种弹性体拉伸型氢气传感器及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明属于气体传感领域,涉及氢气传感器,具体提供一种弹性体拉伸型氢气传感器及其制备方法,用以解决现有Pd基纳米间隙型氢气传感器存在的检测范围有限、检测范围与工艺复杂度相互制约、以及稳定性有待提高等问题。本发明包括:柔性衬底及其正反面设置的Pd基氢敏薄膜与PEI‑rGO多层复合应变敏感薄膜,采用柔性衬底充当其正反面的氢敏薄膜与应变敏感薄膜之间的信号转换媒介,将氢敏薄膜吸氢之后的晶格膨胀应变转换为应变敏感薄膜的电信号输出,实现环境氢气浓度检测。本发明氢气传感器能够不依赖于纳米间隙的开关,在氢敏薄膜较宽膨胀范围内连续工作,得以兼顾较宽的检测范围与较低的工艺复杂度,并显著提升器件的稳定性。
本发明授权一种弹性体拉伸型氢气传感器及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种弹性体拉伸型氢气传感器的制备方法,其特征在于,包括以下步骤: 步骤1.采用玻璃基片,并对玻璃基片做清洗与疏水预处理; 步骤2.采用层层自组装方法在玻璃基片表面制备得到PEI-GO多层复合薄膜; 步骤3.采用热固化法在带有PEI-GO多层复合薄膜的玻璃基片表面制备柔性衬底,并将固化后柔性衬底从玻璃基片表面剥离,将玻璃基片表面的PEI-GO多层复合薄膜转移至柔性衬底上; 步骤4.采用抗坏血酸浸泡或热退火将柔性衬底上的PEI-GO多层复合薄膜还原为PEI-rGO多层复合薄膜,形成应变敏感薄膜; 步骤5.采用蒸镀或磁控溅射在柔性衬底的另一表面上制备得到图形化的钯基贵金属薄膜,形成氢敏薄膜,氢敏薄膜与应变敏感薄膜分别设置于柔性衬底的正反面。
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