买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉南京工业大学申请的专利一种基于马赫-曾德尔干涉仪的位移传感器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120084220B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510194720.4，技术领域涉及：G01B11/02；该发明授权一种基于马赫-曾德尔干涉仪的位移传感器是由刘芳;苗娅楠;冯文涛;朱一峰;张迅;程薛铭设计研发完成，并于2025-02-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于马赫-曾德尔干涉仪的位移传感器在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于马赫‑曾德尔干涉仪的位移传感器，包括激光器、分束器、声光调制器、第一射频驱动器、第一准直器、第一半波片、装载在被测物体上的第一反射镜、第二准直器、第二半波片、装载有压电陶瓷的第二反射镜、第一偏振分光棱镜、第三半波片、第二偏振分光棱镜、平衡光电探测器、锁相放大器、第二射频驱动器、比例‑积分‑微分控制器、高压放大器。本发明采用伺服反馈系统实现了自适应相位锁定，同时使用外差调制构成调制解调模块，协同提高传感器的信噪比和稳定度。该传感器本底噪声低至7.3nm√Hz，实际测量了幅度为24.2nm的位移信号，该传感器不仅能实现位移的标定，也可用于材料的膨胀系数等性能标定。

本发明授权一种基于马赫-曾德尔干涉仪的位移传感器在权利要求书中公布了：1.一种基于马赫-曾德尔干涉仪的位移传感器，其特征在于：包括激光器、分束器、声光调制器、第一射频驱动器、第一准直器、第一半波片、装载在被测物体上的第一反射镜、第二准直器、第二半波片、装载有压电陶瓷的第二反射镜、第一偏振分光棱镜、第三半波片、第二偏振分光棱镜、平衡光电探测器、锁相放大器、第二射频驱动器、比例-积分-微分控制器、高压放大器，其中，所述激光器用于发射激光，所述分束器用于将所述激光器发射的激光分为第一激光和第二激光，所述声光调制器用于在所述第一射频驱动器驱动下，向第一激光引入目标频率偏移，引入目标频率偏移的第一激光经所述第一准直器、所述第一半波片后，被所述第一反射镜反射至所述第一偏振分光棱镜，所述第二激光经所述第二准直器、所述第二半波片后，被所述第二反射镜反射至所述第一偏振分光棱镜，使得所述第一激光和第二激光在所述第一偏振分光棱镜合光，合光经第三半波片后发生光学干涉，干涉光束经所述第二偏振分光棱镜分束后入射到所述平衡光电探测器，所述平衡光电探测器用于将探测到的光信号转换为电信号并输出，使得根据平衡光电探测器的电信号实现位移测量，平衡光电探测器的电信号还被发送到所述锁相放大器，所述锁相放大器用于在所述第二射频驱动器驱动下，解调出误差信号，误差信号经所述比例-积分-微分控制器进行相位锁定后，由第二高压放大器放大后输入至所述第二反射镜的压电陶瓷，带动第二反射镜进行移动，使得干涉光束的相位锁定在π2处。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人南京工业大学，其通讯地址为：211800 江苏省南京市浦口区浦珠南路30号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。