厦门银科启瑞半导体科技有限公司张银桥获国家专利权
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龙图腾网获悉厦门银科启瑞半导体科技有限公司申请的专利一种晶圆透切装置及其使用方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120245233B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510741693.8,技术领域涉及:B28D5/04;该发明授权一种晶圆透切装置及其使用方法是由张银桥;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;王建红设计研发完成,并于2025-06-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆透切装置及其使用方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种晶圆透切装置,属于晶圆透切领域,包括:切割台、加工晶圆和切割刀;还包括:第一侧柱,设置于所述切割台的顶端;第二侧柱,设置于所述切割台的顶端远离所述第一侧柱的一端处;X向驱动部,设置于所述第一侧柱和所述第二侧柱上,以带动所述切割刀X向移动切割;Y向驱动部,设置于所述X向驱动部上,以带动所述切割刀Y向移动切割;第一气缸,设置于所述Y向驱动部上;第一连接盘,与所述第一气缸的输出端连接。本发明通过设置有切割组件和切割驱动组件,使得六个切割刀可以同时沿着直线路径对正六边形芯片的六个边进行切割,从而一下将一个正六边形芯片切割下来。
本发明授权一种晶圆透切装置及其使用方法在权利要求书中公布了:1.一种晶圆透切装置,包括:切割台1、加工晶圆4和切割刀808;其特征在于,还包括: 第一侧柱101,设置于所述切割台1的顶端; 第二侧柱102,设置于所述切割台1的顶端远离所述第一侧柱101的一端处; X向驱动部,设置于所述第一侧柱101和所述第二侧柱102上,以带动所述切割刀808X向移动切割; Y向驱动部,设置于所述X向驱动部上,以带动所述切割刀808Y向移动切割; 第一气缸306,设置于所述Y向驱动部上; 第一连接盘307,与所述第一气缸306的输出端连接; 六边切割部5,设置于所述第一连接盘307的底端,且与所述切割刀808连接,以带动所述切割刀808对所述加工晶圆4上的正六边形芯片进行切割,且所述切割刀808设置有六组,分别圆周设置于所述切割部上,以方便同时对正六边形芯片的六个边进行切割; 所述六边切割部5包括: 支撑杆601,设置于所述第一连接盘307的底端; 六边限位组件,与所述支撑杆601连接,以确定所述切割刀808切割的六个路径与所述加工晶圆4上的正六边形芯片的六个边长相等; 调节组件,设置于所述支撑杆601上,且与所述六边限位组件连接,以调节所述六边限位组件上六个边长的长度; 切割组件,设置于所述六边限位组件上,且与六组所述切割刀808连接,以确定所述切割刀808的移动路径; 切割驱动组件7,设置于所述第一连接盘307上,且与所述切割组件连接,以通过切割组件带动所述切割刀808移动; 所述六边限位组件包括: 第一固定支撑块602,设置于所述支撑杆601的底端; 限位连接块801,设置有六个,六个所述限位连接块801圆周均匀排列,且其中一个所述限位连接块801与所述第一固定支撑块602连接,同时所述限位连接块801横向两端呈120度夹角,且一端开设有限位通槽,而另一端封闭; 滑动方杆802,设置有六个,六个所述滑动方杆802一端与所述限位连接块801另一端连接;且所述滑动方杆802的另一端与连接的限位连接块801相邻的一个所述限位连接块801的限位通槽滑动连接,以方便调节六个所述限位连接块801的距离; 所述调节组件包括: 第一限位夹605,设置有六个,六个所述第一限位夹605与六个所述限位连接块801一一对应连接,且其中一个所述第一限位夹605设置于所述第一固定支撑块602上,同时所述第一限位夹605横向两端呈120度夹角设计,以方便与相邻的所述第一限位夹605配合连接; 第二滑动支撑块604,套设于所述支撑杆601上; 第二限位夹606,设置有六个,六个所述第二限位夹606与六个所述第一限位夹605一一对应设置,且其中一个所述第二限位夹606与所述第二滑动支撑块604连接; 铰接杆607,设置有若干组铰接杆607,通过将两个所述铰接杆607成“X”型分别与相邻的两个所述第一限位夹605和对应的两个所述第二限位夹606连接,从而通过改变“X”的角度大小来调节所述第一限位夹605之间的距离; 第一电动伸缩杆603,设置于所述第一固定支撑块602上,且输出端与所述第二滑动支撑块604底端连接,以调节所述第二滑动支撑块604的位置,来调节形成六边形轨道的六边形的大小; 所述切割组件包括: 第二限位板803,设置有六个,六个所述第二限位板803对应设置于所述限位连接块801的底端; 第三限位板804,设置有六个,六个所述第三限位板804对应设置于所述滑动方杆802远离所述限位连接块801的一端; 第二限位杆805,设置有六个,六个所述第二限位杆805一端与对应的所述第二限位板803连接,且另一端与对应的所述第三限位板804连接,且所述第二限位杆805穿设于对应的第二限位板803的相邻的所述第二限位板803上; 滑动连接块806,设置有六个,六个所述滑动连接块806套设于对应的所述第二限位杆805中,且与所述切割驱动组件7连接; 第二连接盘807,设置于所述滑动连接块806的底端,且所述第二连接盘807的底端与所述切割刀808连接。
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