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龙图腾网获悉浙江众凌科技有限公司申请的专利金属掩膜版量测误差的补偿方法、补偿系统、终端获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120630584B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511135576.3，技术领域涉及：G03F1/84；该发明授权金属掩膜版量测误差的补偿方法、补偿系统、终端是由康紫彤;徐华伟;蔡俊飞;韩真真;姜慧慧设计研发完成，并于2025-08-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本金属掩膜版量测误差的补偿方法、补偿系统、终端在说明书摘要公布了：本申请提供了一种金属掩膜版量测误差的补偿方法、补偿系统、终端。金属掩膜版量测误差的补偿方法，包括：获取产品设计值；测量设备量测值；计算量测偏差值=设备量测值‑产品设计值；其中，还包括：对同一量测设备的量测数据库中不同测试点位中孔的位置精度值求平均值，以得出设备均位偏差值；计算最终量测偏差值，最终量测偏差值=量测偏差值‑设备均位偏差值。本申请中，将同一个测试设备的往期测试数据作为大数据，进行大数据拟合验证后得到设备均位偏差值。后续在该测试设备上进行物料测试时，对测量数据进行反向补偿，以消除设备自身偏差的影响，仅保留物料自身的趋势偏差，从而提高测量精度。

本发明授权金属掩膜版量测误差的补偿方法、补偿系统、终端在权利要求书中公布了：1.一种金属掩膜版量测误差的补偿方法，包括以下步骤： 获取金属掩膜版中每个测试点位中孔位置的产品设计值； 测量获得金属掩膜版中每个测试点位中孔位置的设备量测值； 计算量测偏差值，所述量测偏差值=所述设备量测值-所述产品设计值； 其特征在于，进一步包括以下步骤： 对同一量测设备的量测数据库中不同测试点位中孔的位置精度值求平均值，以得出设备均位偏差值； 计算最终量测偏差值，所述最终量测偏差值=所述量测偏差值-所述设备均位偏差值，其中，所述设备均位偏差值的计算方法包括： S01，通过量测设备获取m条待测试产品的设备量测数据库，所述设备量测数据库包括视野范围内n个不同测试点位中孔的位置精度值，每个孔的位置精度值=量测得到的当前孔的位置坐标-产品设计值的位置坐标； S02，分别验证第1条至第m条待测试产品中每一个测试点位中孔的位置精度值是否满足正态分布； S031，若n次验证结果均表明孔的位置精度值满足正态分布，则对n个不同测试点位中孔的位置精度值求平均值，以得出设备均位偏差值； S032，若n次验证结果均表明孔的位置精度值存在不满足正态分布的情况，则修正所述设备量测数据库，并再次验证，直至修正后的所述设备量测数据库中的数据均满足正态分布，则求解所述设备均位偏差值。

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