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龙图腾网获悉浙江晟霖益嘉科技有限公司申请的专利一种晶圆加热、冷却处理集成腔及其控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120700446B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511187392.1，技术领域涉及：C23C14/22；该发明授权一种晶圆加热、冷却处理集成腔及其控制方法是由马东旭;贺忻;王保;王慧锋;丁鑫明;徐钧设计研发完成，并于2025-08-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆加热、冷却处理集成腔及其控制方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆加热、冷却处理集成腔及其控制方法，包括：腔体组件，形成密闭的腔室；支撑组件，设置于所述腔室内，包括支撑底座、升降轴及晶圆支撑板；晶圆支撑板包括用于承载第一晶圆的第一支撑板和用于承载第二晶圆的第二支撑板；加热组件：安装于所述腔室的外侧，用于所述晶圆的辐射加热；冷却盘：冷却台面位于所述加热组件的轴向相对侧；温度监测单元，包括第一温度传感器，设于所述第一支撑板，用于监测第一晶圆温度；第二温度传感器，设于冷却台面，用于监测第二晶圆的温度；通过同一腔室内对第一晶圆加热和第二晶圆冷却的同步进行，有效缩短了整体晶圆处理工艺流程时间，提高了集成腔的利用效率，提高了晶圆的生产效率。

本发明授权一种晶圆加热、冷却处理集成腔及其控制方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆加热、冷却处理集成腔控制方法，其特征在于，所述晶圆加热、冷却处理集成腔包括：腔体组件，形成密闭的腔室100；支撑组件，设置于所述腔室100内，包括支撑底座14、升降轴20及晶圆支撑板；所述晶圆支撑板包括用于承载第一晶圆9的第一支撑板10,16和用于承载第二晶圆15的第二支撑板12,18；所述升降轴20一端连接所述支撑底座14，另一端连接传动机构以驱动支撑组件升降；加热组件5：安装于所述腔室100的外侧，并与第一支撑板10,16及第二支撑板12,18轴向对齐，用于所述第一晶圆9的辐射加热；冷却盘6：设于所述腔室100底部，包括冷却台面61及连接端62，所述冷却台面61位于所述加热组件5的轴向相对侧，所述连接端62延伸至腔室100外通过冷却流体连接口7与冷却流体循环装置连通；温度监测单元，包括第一温度传感器22，设于所述第一支撑板10,16，用于监测第一晶圆9温度；第二温度传感器8，设于冷却台面61，用于监测第二晶圆15的温度；其中，所述升降轴20驱动所述支撑组件下降时，所述第二支撑板12,18上的第二晶圆15与所述冷却台面61抵接冷却，同时所述加热组件5对所述第一晶圆9辐射加热； 所述控制包括如下步骤： 根据第一晶圆9加热和第二晶圆15冷却的相互辐射影响关系，计算出冷却盘6通入冷却流体流量Q与第一晶圆9和第二晶圆15温度的函数关系得出冷却流量函数； 基于所述冷却流量函数，根据所述第一晶圆9和所述第二晶圆15的温度变化，实时进行冷却流体流量Q的调节控制，控制所述第二晶圆15冷却时间与所述第一晶圆9加热时间同步。

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