国网上海市电力公司张洲杰获国家专利权
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龙图腾网获悉国网上海市电力公司申请的专利一种MEMS光纤气体与温度集成传感器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120703000B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511187979.2，技术领域涉及：G01N21/17；该发明授权一种MEMS光纤气体与温度集成传感器及其制备方法是由张洲杰;范丽君;杨柳青;杨清海;陈超;梁徐斌;魏毅;陈东;袁辉;贾雅君;颜秉厚设计研发完成，并于2025-08-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种MEMS光纤气体与温度集成传感器及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明涉及光纤传感器技术领域，具体为一种MEMS光纤气体与温度集成传感器及其制备方法，在石英支撑基座的一端设置三级阶梯结构，第一阶梯平面上固定有法珀微悬臂梁膜片，第二阶梯平面层上设有滤片‑渗透膜复合结构；石英支撑基座内部设有三个功能腔体：第一容纳腔内安装有光纤准直透镜与光声池，光纤准直透镜的出射光通过光声池照射到法珀微悬臂梁膜片上；第二容纳腔内安装有第一陶瓷光纤插芯，光纤插芯与感温晶体后端进行紧密贴合，感温晶体前端与第一阶梯平面平行；第三容纳腔内安装有第二陶瓷光纤插芯，光纤插芯的出射光照射到法珀微悬臂梁膜片后反射回光纤。实现了气体、温度及微水多参数高灵敏度同步检测，且具备抗振动干扰的优势。
本发明授权一种MEMS光纤气体与温度集成传感器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种MEMS光纤气体与温度集成传感器，其特征在于，包括石英支撑基座3，其一端设有三级阶梯结构，其中第一阶梯平面上固定有法珀微悬臂梁膜片11，第二阶梯平面层上固定有滤片-渗透膜复合结构； 所述石英支撑基座3内部设置有三个功能腔体： 第一容纳腔，安装有光纤准直透镜4与光声池5，所述光纤准直透镜4的出射光通过光声池5照射到法珀微悬臂梁膜片11上； 第二容纳腔，安装有第一陶瓷光纤插芯6，所述第一陶瓷光纤插芯6与感温晶体9后端进行紧密贴合，所述感温晶体9前端与第一阶梯平面平行；第一陶瓷光纤插芯6的出射光照射到感温晶体9后反射回光纤； 第三容纳腔，安装有第二陶瓷光纤插芯7，所述第二陶瓷光纤插芯7的出射光照射到法珀微悬臂梁膜片11上的悬臂梁末端中心后反射回光纤。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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