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浙江众凌科技有限公司吴焰获国家专利权

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龙图腾网获悉浙江众凌科技有限公司申请的专利一种光罩、金属掩膜版及制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120704054B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511135570.6,技术领域涉及:G03F1/70;该发明授权一种光罩、金属掩膜版及制备方法是由吴焰;徐华伟;王凤姣;王志欣;夏孝定设计研发完成,并于2025-08-14向国家知识产权局提交的专利申请。

一种光罩、金属掩膜版及制备方法在说明书摘要公布了:本发明涉及显示技术领域,提供了一种光罩、金属掩膜版及制备方法,包括:图形定义区域,所述图形定义区域用于定义金属掩膜版的像素开口区域,所述图形定义区域为四条内凹弧及连接所述内凹弧的圆角组成的封闭图形,所述像素开口区域为圆角矩形,所述图形定义区域与所述像素开口区域的中心重合且所述图形定义区域的面积小于所述像素开口区域的面积。金属掩膜版上转印的图形定义区域的图案,能够使药液更均匀地分布在整个表面,有效减少涡流和死区的形成,避免药液在局部区域滞留,从而减少杂质积累和反应不完全的问题,减少了因流动不均匀导致的蚀刻不一致,从而改善了金属掩膜版的像素开口区域的圆角的蚀刻均一性和直边的蚀刻均一性。

本发明授权一种光罩、金属掩膜版及制备方法在权利要求书中公布了:1.一种光罩,其特征在于,包括: 图形定义区域,所述图形定义区域用于定义金属掩膜版的像素开口区域,所述图形定义区域为四条内凹弧及连接所述内凹弧的圆角组成的封闭图形,所述像素开口区域为圆角矩形,所述图形定义区域与所述像素开口区域的中心重合且所述图形定义区域的面积小于所述像素开口区域的面积。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人浙江众凌科技有限公司,其通讯地址为:314400 浙江省嘉兴市海宁市海昌街道海宁经济开发区漕河泾路17号5幢101室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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