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浙江众凌科技有限公司韩真真获国家专利权

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龙图腾网获悉浙江众凌科技有限公司申请的专利金属掩膜版的静电释放装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120730596B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511135572.5,技术领域涉及:H05F3/02;该发明授权金属掩膜版的静电释放装置及方法是由韩真真;徐华伟;蔡俊飞;康紫彤;姜慧慧设计研发完成,并于2025-08-14向国家知识产权局提交的专利申请。

金属掩膜版的静电释放装置及方法在说明书摘要公布了:本申请提供了一种金属掩膜版的静电释放装置,通过静电释放组件直接将产品表面的电荷导出,减少产品表面的静电吸附分量。静电释放装置中的静电释放组件可缓冲地与待释放静电的表面接触,并可实现第一缓冲高度的缓冲,达到了在释放静电电荷的同时动态补偿位置偏差。静电释放组件与待释放静电的表面可缓冲地接触,可以避免接触过程中产生硬性碰撞、机械接触,从而避免产品表面划伤污染,进而提升产品良率。

本发明授权金属掩膜版的静电释放装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种金属掩膜版的静电释放装置,与产品取放装置连接,所述产品取放装置包括: 驱动组件10,用于实现所述产品取放装置在Z轴方向的升降;和, 连接组件20,与所述驱动组件10固定连接; 其特征在于,所述静电释放装置200包括: 静电释放组件30,固定设置于所述连接组件20,且所述静电释放组件30可缓冲地与待释放静电的表面接触; 所述静电释放组件30包括: 可伸缩件31,具有固定外壳和伸缩轴,所述伸缩轴可在所述固定外壳中沿Z轴伸长或缩短,所述可伸缩件31从所述连接组件20的通孔中穿过; 固定件32,用于将所述可伸缩件31固定设置于所述连接组件20;以及, 释放件33,固定设置于所述伸缩轴的端部,当所述释放件33与待释放静电的表面接触时,所述伸缩轴在所述固定外壳中沿Z轴伸长或缩短,以缓冲所述释放件33与待释放静电的表面的接触力大小; 所述释放件33包括释放单体331和释放组合体332两种; 所述连接组件20包括:第一连接件21、第二连接件22和第三连接件23; 所述第三连接件23包括沿X轴方向延伸设置的承载板231; 所述承载板231上具有间隔设置的多个通孔,每一个所述通孔内设置一个所述释放单体331或一个所述释放组合体332;所述释放组合体332由紫铜块332-1与高密度铜丝332-2组合形成;所述释放组合体332在Z轴方向的尺寸与所述释放单体331在Z轴方向的尺寸相同。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人浙江众凌科技有限公司,其通讯地址为:314400 浙江省嘉兴市海宁市海昌街道海宁经济开发区漕河泾路17号5幢101室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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