江苏凯威特斯半导体科技有限公司桂传书获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏凯威特斯半导体科技有限公司申请的专利一种纳米结构的等离子防护复合涂层及制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120736898B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511255060.2，技术领域涉及：C04B35/505；该发明授权一种纳米结构的等离子防护复合涂层及制备方法是由桂传书;朱文健;马凯;李成新;陈开清;薛弘宇;严汪学设计研发完成，并于2025-09-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种纳米结构的等离子防护复合涂层及制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种纳米结构的等离子防护复合涂层，所述复合涂层为采用真空冷喷涂方法在基底上制备的复合陶瓷涂层，所述复合陶瓷涂层的厚度为1~50μm，粒径为10~200nm，孔隙率1%，所述复合陶瓷涂层材料由氧化钇和第二陶瓷组分共同组成。本发明通过选用氧化钇和第二陶瓷组分进行复合，在氧化钇中引入占粉末总质量5~50%的第二陶瓷粉末，并采用真空冷喷涂的方法制备涂层后进行热处理，这种方法制备的复合涂层具有优异的氟氯等离子抗蚀性；纳米晶粒细化显著提升了涂层的致密度、抗热震性、微观稳定性，有效减少颗粒污染物的形成；真空冷喷涂工艺低温无熔化，避免材料结构劣化，同时适用于热敏感基底与高精度要求。
本发明授权一种纳米结构的等离子防护复合涂层及制备方法在权利要求书中公布了：1.一种纳米结构的等离子防护复合涂层，其特征在于，所述复合涂层为采用真空冷喷涂方法结合热处理在基底上制备的复合陶瓷涂层，所述复合陶瓷涂层的厚度为1~50μm，晶粒尺寸为10~200nm，孔隙率1%，所述复合陶瓷涂层的材料为第二陶瓷组分包覆的氧化钇，所述氧化钇的质量分数为50~95%，所述第二陶瓷组分为氧化铝、氧化铈、氟化钇、氟氧化钇中的一种或两种以上的组合，包覆层的厚度为5-50nm。
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