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龙图腾网获悉浙江晟霖益嘉科技有限公司申请的专利一种双片晶圆集成处理腔室及控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120776235B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511240027.2，技术领域涉及：C23C14/02；该发明授权一种双片晶圆集成处理腔室及控制方法是由余婷;陈明;贺忻;王保;王慧锋;徐钧设计研发完成，并于2025-09-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种双片晶圆集成处理腔室及控制方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种双片晶圆集成处理腔室及控制方法，包括：集成腔室，用于同时装载两片晶圆，包括筒形腔体，上下两端分别密封设有上盖及下盖；腔体内镜像对称设置的上加热基座和下加热基座，分别用于承载并加热两片晶圆；加热系统，包括对应于上加热基座的上感应线圈，以及对应于下加热基座的下感应线圈；冷却系统，包括集成于腔体侧壁、上盖及下盖内部的水冷通道形成的水冷循环和腔体内通入冷却气体形成的气冷循环；集成腔室集成了晶圆装载、真空抽气、加热除气及冷却功能。通过集成腔室的晶圆传输与加热、冷却一体化设计，以及可以同时处理两片晶圆的RF感应加热系统和双重冷却系统，有效提高了PVD设备空间利用率及晶圆生产效率。

本发明授权一种双片晶圆集成处理腔室及控制方法在权利要求书中公布了：1.一种双片晶圆集成处理腔室，其特征在于，包括：集成腔室10，用于同时装载两片晶圆50，包括筒形腔体以及密封腔体上端开口部的上盖11和密封腔体下端开口部的下盖12； 腔体100内镜像对称设置的上加热基座13和下加热基座14，分别用于承载并加热两片晶圆50；所述加热基座的加热面设有夹持机构，包括：至少三个周向均布的夹持部131，所述夹持部131朝向加热面中心设有卡接槽1311；所述夹持部131远离其中心轴线的一侧设有弹性件132，靠近其中心轴线的一侧设有驱动件133，所述驱动件133能够挤压所述夹持部131及弹性件132，使夹持部131径向位移以释放晶圆50或晶圆安装空间； 加热系统，包括设置于所述上加热基座13与上盖11之间的上感应线圈17，以及设置于下加热基座14与下盖12之间的下感应线圈171，所述感应线圈通过高频交变电磁场对加热基座进行感应加热； 冷却系统，包括集成于腔体100侧壁、上盖11及下盖12内部的水冷通道105，所述水冷通道105与腔体100外部水泵形成水冷循环；设置于腔体100侧壁的进气口和出气口，用于向腔体100内通入冷却气体形成气冷循环； 其中，所述集成腔室10集成了晶圆50装载、真空抽气、加热除气及冷却功能。

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