季华实验室杨江林获国家专利权
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龙图腾网获悉季华实验室申请的专利一种光学镜片承载结构及光刻设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120779553B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511296032.5，技术领域涉及：G02B7/02；该发明授权一种光学镜片承载结构及光刻设备是由杨江林;张鑫;张皓林设计研发完成，并于2025-09-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光学镜片承载结构及光刻设备在说明书摘要公布了：本发明涉及光刻设备技术领域，特别涉及一种光学镜片承载结构及光刻设备，包括机体、镜体和密封壳体，密封壳体与机体连接，密封壳体与机体之间形成有密封腔，镜体设置在密封腔内，镜体的外围、密封腔的腔壁与机体之间形成有浮力腔，浮力腔中填充有介质；当浮力腔内填充介质后，介质会在镜体外围形成介质浮力和介质压力。利用这些介质浮力和介质压力，能够有效承载浮力腔内的镜体，并抵消镜体的部分重力以及镜体与密封壳体和机体之间的部分连接应力，从而降低镜体面型变形的风险。同时，浮力腔中的介质还能隔绝镜体与密封壳体间的热量，实时带走镜体在工作时产生的热量，将温度波动控制在极小范围内，避免因热膨胀导致的镜体变形。
本发明授权一种光学镜片承载结构及光刻设备在权利要求书中公布了：1.一种光学镜片承载结构，其特征在于，包括机体、镜体和密封壳体，所述密封壳体与所述机体连接，所述密封壳体与所述机体之间形成有密封腔，所述镜体设置在所述密封腔内，所述镜体的外围、所述密封腔的腔壁与所述机体之间形成有浮力腔，所述浮力腔中填充有介质；所述浮力腔至少部分的腔体往所述镜体的边缘外侧延伸；所述镜体远离镜面的一面与所述机体抵接；所述机体上位于所述镜体的底部设置有与所述浮力腔连通的隔热槽；所述隔热槽的投影面积大于所述镜体的工作有效面积；所述隔热槽的槽口边缘围设有第三抵接部，所述第三抵接部与所述镜体的底面抵接，所述第三抵接部的顶面的水平面高于所述隔热槽的槽口的水平面。
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