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龙图腾网获悉中国科学院空天信息创新研究院申请的专利量程灵敏度可调的谐振式压力传感器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120800600B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511309305.5，技术领域涉及：G01L1/10；该发明授权量程灵敏度可调的谐振式压力传感器是由陈德勇;夏文良;秦佳新;王军波;谢波;鲁毓岚设计研发完成，并于2025-09-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本量程灵敏度可调的谐振式压力传感器在说明书摘要公布了：本申请提供了一种量程灵敏度可调的谐振式压力传感器，涉及传感器技术领域，包括：压力敏感膜，用于探测外界压力；谐振器层，包括一双端固支谐振梁，双端固支谐振梁设于压力敏感膜上方且其可动部位悬空，一侧设有分别用于施加交流驱动信号和参数泵浦交流信号的两个驱动电极，另一侧设有两个检测电极；硅封盖层，具有一个谐振腔，谐振腔位于压力敏感膜和双端固支谐振梁上方，用于为压力敏感膜提供形变空间和为双端固支谐振梁提供振动空间；在第一工作模式下，通过施加参数泵浦交流信号使谐振梁的一阶模态分裂出两个振幅峰值，通过调节参数泵浦交流信号的幅值，以调节输出振幅比的灵敏度；通过调节参数泵浦交流信号的频率，以调节测量范围。

本发明授权量程灵敏度可调的谐振式压力传感器在权利要求书中公布了：1.一种量程灵敏度可调的谐振式压力传感器，其特征在于，包括： 压力敏感膜层2，包括压力敏感膜2-1，所述压力敏感膜2-1用于探测外界压力； 谐振器层1，包括一谐振梁1-1，所述谐振梁1-1设于所述压力敏感膜2-1上方且其可动部位悬空，一侧设有分别用于施加交流驱动信号和参数泵浦交流信号的两个驱动电极，另一侧设有用于检测所述谐振梁1-1振动的两个检测电极； 封装层3，包括硅封盖层3-1，所述硅封盖层3-1具有一个谐振腔3-2，所述谐振腔3-2位于所述压力敏感膜2-1和所述谐振梁1-1上方，用于为所述压力敏感膜2-1提供形变空间和为所述谐振梁1-1提供振动空间； 其中，在第一工作模式下，通过施加所述参数泵浦交流信号使所述谐振梁1-1的一阶模态分裂出两个振幅峰值，通过调节所述参数泵浦交流信号的幅值，以调节输出所述振幅比的灵敏度；通过调节所述参数泵浦交流信号的频率，以调节测量范围； 在所述第一工作模式下，所述参数泵浦交流信号的频率为所述谐振梁1-1的一阶模态和二阶模态的频率差； 当所述外界压力发生变化时，基于所述谐振梁1-1分裂出的两个振幅峰值的振幅比解算所述外界压力的压力值； 在第二工作模式下，不输入所述参数泵浦交流信号； 当所述外界压力发生变化时，基于施加所述交流驱动信号的所述驱动电极的对侧的检测电极检测所述谐振梁1-1的谐振频率，基于所述谐振频率的变化量解算所述外界压力的压力值。

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