浙江晟霖益嘉科技有限公司吴振获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江晟霖益嘉科技有限公司申请的专利一种适用薄膜真空蒸镀装备的热电偶温度测量方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120820248B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511273237.1,技术领域涉及:G01K7/02;该发明授权一种适用薄膜真空蒸镀装备的热电偶温度测量方法是由吴振;贺震宇;郭超;吴宾宾;李仁龙;刘伟;徐钧设计研发完成,并于2025-09-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种适用薄膜真空蒸镀装备的热电偶温度测量方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种适用薄膜真空蒸镀装备的热电偶温度测量方法,包括如下步骤:S1、采用温度模块和PLC控制器组合测量热电偶原始信号值;S2、动态前端滤波:在PLC控制器端对采集到的热电偶电动势的原始值进行可调参数动态滤波,并根据不同的蒸镀工艺阶段实时调整滤波强度;S3、标准化温度换算:基于所选热电偶的分度表,在PLC控制器内完成电动势到温度的转换,获得热电偶温度测量值。本发明提供的适用薄膜真空蒸镀装备的热电偶温度测量方法,能够提高温度测量精度,优化薄膜蒸镀工艺质量,并具有良好的兼容性。
本发明授权一种适用薄膜真空蒸镀装备的热电偶温度测量方法在权利要求书中公布了:1.一种适用薄膜真空蒸镀装备的热电偶温度测量方法,其特征在于,包括如下步骤: S1、采用温度模块和PLC控制器组合测量热电偶原始信号值; S2、动态前端滤波:在PLC控制器端对采集到的热电偶电动势的原始值进行可调参数动态滤波,并根据不同的蒸镀工艺阶段实时调整滤波强度; S3、标准化温度换算:基于所选热电偶的分度表,在PLC控制器内完成电动势到温度的转换,获得热电偶温度测量值。
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