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西安电子科技大学杭州研究院;西安电子科技大学玉虓获国家专利权

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龙图腾网获悉西安电子科技大学杭州研究院;西安电子科技大学申请的专利一种介电常数测量系统及介电常数测量方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120847486B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511360861.5,技术领域涉及:G01R27/26;该发明授权一种介电常数测量系统及介电常数测量方法是由玉虓;何宇祺;陈冰;长康雄;韩根全设计研发完成,并于2025-09-23向国家知识产权局提交的专利申请。

一种介电常数测量系统及介电常数测量方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种介电常数测量系统及介电常数测量方法,通过将任意波形发生器AWG集成至SNDM系统,实现了波形多样化与极化场强度增强,通过AWG输出的任意波形,可根据材料特性自定义极化序列,大幅提升极化驱动灵活性;同时采用手动或电子SPDT切换开关与Bias‑T叠加网络,使极化写入与介电成像在同一区域快速切换,避免重新定位和布线;测量流程时间能缩短约70%,高通量实验中可显著提高数据采集效率;同时,本发明的测量系统能显著提升检测速度、探针寿命及多材料适用性,同时抑制热扰动效应,为纳米电子器件的精准表征提供可靠解决方案。

本发明授权一种介电常数测量系统及介电常数测量方法在权利要求书中公布了:1.一种介电常数测量系统,包括:探针模块、低频信号模块、调频解调器和锁相放大器; 所述探针模块包括探针,探针的一端与待测试样品的上表面之间形成微小电容Cs; 所述低频信号模块对待测试样品的下表面施加低频信号; 所述探针模块由LC谐振电路和信号放大器串联而成,所述探针的另一端连接所述探针模块中的LC谐振电路; 所述探针模块中的信号放大器的输出端连接所述调频解调器;所述调频解调器的输出端连接所述锁相放大器; 其特征在于,所述低频信号模块包括低频信号发生器,其中低频信号发生器发出的信号作为高频信号的调制信号,施加在待测试样品上; 还包括任意波形发生器,任意波形发生器输出可编程的任意高压波形信号,以驱动待测试样品的极化; 还包括切换开关,所述切换开关通过手动操控或控制信号,在低频信号发生器与待测试样品处于连接状态和任意波形发生器与待测试样品处于连接状态之间切换; 还包括Bias-T电路,所述Bias-T电路与低频信号发生器和任意波形发生器、切换开关分别连接,在待测试样品的底电极处将任意波形发生器生成的高频成像信号与低频信号发生器生成的低频-高压极化信号叠加。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人西安电子科技大学杭州研究院;西安电子科技大学,其通讯地址为:311231 浙江省杭州市萧山区宁围街道旅学路177号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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