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粤芯半导体技术股份有限公司石方毅获国家专利权

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龙图腾网获悉粤芯半导体技术股份有限公司申请的专利半导体器件和半导体器件版图的非对称型修正方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120895562B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511411113.5,技术领域涉及:H01L23/528;该发明授权半导体器件和半导体器件版图的非对称型修正方法是由石方毅;曾辉;刘志成;李贵琦;周卓弘;李月;姜晓晴;张淼华设计研发完成,并于2025-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。

半导体器件和半导体器件版图的非对称型修正方法在说明书摘要公布了:本申请实施例公开了半导体器件和半导体器件版图的非对称型修正方法。该半导体器件,包括金属互连层,金属互连层包括至少一个凹角位置,凹角位置设置有与金属互连层一体成型的过渡带;同一过渡带在凹角位置的两个垂直方向上的延伸距离不同,且在两个垂直方向上的延伸末端之间斜向过渡。对可能形成凹角或者添加等腰直角三角形后有连条风险的拐角,按照特定尺寸添加非等腰直角三角形,在避免形成新凹角和连条风险的基础上,使得凹角位置的内切圆半径尽可能增加,凹角处应力分布集中效应减弱,不易形成裂纹,消除金属电迁移、连条或断条等现象,明显提升产品质量,延长芯片寿命。

本发明授权半导体器件和半导体器件版图的非对称型修正方法在权利要求书中公布了:1.半导体器件版图的非对称型修正方法,其特征在于,包括: 基于光学邻近效应修正工具对待处理版图的金属互连层进行凹角筛选,得到至少一个凹角位置; 在所述凹角位置按照设定尺寸添加非等腰直角三角形得到目标版图,所述非等腰直角三角形使得所述目标版图中任一位置的内切圆的半径大于所述待处理版图中任一位置的内切圆的半径,且所述金属互连层中间隙的最小宽度大于预设的连条阈值; 其中,所述在所述凹角位置按照设定尺寸添加非等腰直角三角形得到目标版图,包括: 在所述凹角位置位于间隙的末端的情况下,在所处的间隙的末端居中生成第一矩形和第二矩形,并对所述第一矩形和第二矩形进行第一逻辑操作,得到位于所述间隙的末端的两个分离的第三矩形,所述第一矩形的宽度等于所述间隙的宽度,所述第一矩形的长度大于所述间隙的宽度;所述第二矩形的宽度小于所述间隙的宽度,所述第二矩形的长度大于所述第一矩形的长度; 对所述第三矩形进行关于对角线的第二逻辑操作,得到两条直角边分别与所述凹角位置的两个垂直方向对齐的非等腰直角三角形。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人粤芯半导体技术股份有限公司,其通讯地址为:510000 广东省广州市黄埔区凤凰五路28号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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