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龙图腾网获悉无锡尚积半导体科技股份有限公司申请的专利多腔整机用磁吸避位式全平台自动开盖装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120955014B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511468963.9，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权多腔整机用磁吸避位式全平台自动开盖装置是由姜颖;张陈斌;经英杰;许程艺;宋永辉;王世宽设计研发完成，并于2025-10-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本多腔整机用磁吸避位式全平台自动开盖装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种多腔整机用磁吸避位式全平台自动开盖装置，应用于包括多个工作腔的晶圆制造设备，开盖装置包括升降驱动机构、支撑平台、旋转驱动机构、磁吸控制器、第一接取件和第二接取件，支撑平台上设有环形导向件，第一接取件和第二接取件滑动设置在所述环形导向件上；通过旋转驱动机构带动磁吸控制器旋转，结合磁吸控制器隔空吸引第一接取件和第二接取件沿环形导向件运动，使得接取件能灵活对准不同的工作腔；且磁吸控制器与接取件形成间隙配合、可避开升降驱动机构中的干涉部件；通过升降驱动机构驱使支撑平台、带动腔盖沿竖直方向运动，无需人工抬举腔盖即可实现开盖。

本发明授权多腔整机用磁吸避位式全平台自动开盖装置在权利要求书中公布了：1.一种多腔整机用磁吸避位式全平台自动开盖装置，应用于晶圆制造设备，所述晶圆制造设备包括多边形的中转平台1及环绕所述中转平台1设置、且分别与所述中转平台1连通的多个工作腔2，其特征在于，包括： 升降驱动机构，设于所述中转平台1上； 支撑平台11，所述升降驱动机构用于驱使所述支撑平台11沿竖直方向运动、以靠近或远离所述中转平台1； 旋转驱动机构12和磁吸控制器13，设于所述支撑平台11上，所述旋转驱动机构12用于驱使所述磁吸控制器13旋转，以便所述磁吸控制器13指向不同的工作腔2； 第一接取件14和第二接取件15，所述支撑平台11上设有环形导向件11a，所述环形导向件11a的延伸轨迹与多个所述工作腔2的分布轨迹适配，所述第一接取件14和所述第二接取件15滑动设置在所述环形导向件11a上，所述磁吸控制器13能够隔空吸引所述第一接取件14和所述第二接取件15，从而带动二者沿着所述环形导向件11a朝向需要开盖的工作腔2运动； 工作时，所述磁吸控制器13通过磁吸作用与所述第一接取件14和所述第二接取件15形成间隙配合，以便避开所述升降驱动机构中的干涉部件，实现所述第一接取件14和所述第二接取件15的旋转变位； 所述第一接取件14和所述第二接取件15配合提取目标工作腔2后，通过所述升降驱动机构驱使所述支撑平台11上升，实现所述工作腔2的开盖。

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