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中国科学院合肥物质科学研究院;合肥鉴景心遥空间科技有限公司凌明椿获国家专利权

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龙图腾网获悉中国科学院合肥物质科学研究院;合肥鉴景心遥空间科技有限公司申请的专利基于夏克哈特曼传感器的显微物镜像差测试方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121007694B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511536224.9,技术领域涉及:G01M11/02;该发明授权基于夏克哈特曼传感器的显微物镜像差测试方法及系统是由凌明椿;秦恒巍;索雪蓉;匡大鹏;刘吴昊;汪军;宋茂新;史书明;洪津设计研发完成,并于2025-10-27向国家知识产权局提交的专利申请。

基于夏克哈特曼传感器的显微物镜像差测试方法及系统在说明书摘要公布了:本发明涉及光学检测技术领域,公开了基于夏克哈特曼传感器的显微物镜像差测试方法及系统。系统包括照明模组、物镜模组和检测模组。方法中,照明模组产生标准点光源发散球面波,并调节各模组位置使其与待测物镜保持平行并共轴;通过θZ转台驱动物镜绕Z轴旋转至多个预设角度,在各角度下利用夏克哈特曼波前传感器获取波前强度分布图像;对所述图像进行Zernike多项式分解,得到波像差信息和Zernike系数序列;再对其中的倾斜项和离焦项进行周期函数拟合,分离由转台机械跳动引入的误差像差项,并将其从测得波像差信息中扣除,从而得到校正后的真实波像差信息。本发明实现了显微物镜像差的高精度、稳定可靠测量。

本发明授权基于夏克哈特曼传感器的显微物镜像差测试方法及系统在权利要求书中公布了:1.基于夏克哈特曼传感器的显微物镜像差测试方法,其特征在于,应用于包括照明模组3、物镜模组4和检测模组5的测试系统中,包括以下步骤: S1、通过照明模组3产生标准点光源,以发散标准球面波; S2、调节各模组的位置以保持各模组与物镜模组4中的待测物镜401之间保持相互平行状态且共处于一条中心基准光轴上,使待测物镜401的聚焦点与所述标准点光源重合; S3、通过物镜模组4中的θZ转台405将待测物镜401绕Z轴依次旋转至多个预设测量角度,在每个测量角度下进行测试,使球面波经待测物镜401后携带波前畸变进入检测模组5中的夏克哈特曼波前传感器501,从而获取经过待测物镜401畸变的波前强度分布图像; S4、对每个测量角度下所获取的波前强度分布图像进行Zernike多项式分解,得到波相差信息以及对应的Zernike系数序列;步骤S4中,对每个测量角度下获取的波前强度分布图像进行Zernike多项式分解的表达公式为: 式中,为每个测量角度下获取的波前强度分布图像;x、y为夏克哈特曼波前传感器501探测平面的直角坐标;为第i个测量角度;,M为采样点数;为第k个与相关的Zernike系数,,N为Zernike多项式分解的系数总和;为第k项Zernike多项式,、为归一化极坐标,,; S5、对Zernike系数序列中的倾斜项和离焦项进行周期函数拟合,以分离由θZ转台405的机械跳动所引入的误差像差项,从测得的波像差信息中减去所述误差像差项,得到校正后的真实波像差信息以及波前强度分布图像;步骤S5包括以下具体步骤: S51、从测量角度相关的Zernike系数序列中选择低阶像差系数,包括:X方向倾斜项系数、Y方向倾斜项系数和离焦项系数;其中,每个低阶像差系数由物镜真实像差系数与误差像差系数线性叠加得到,表达公式为: 式中,表示低阶像差系数;表示物镜真实像差系数;表示误差像差系数; S52、对每个低阶像差系数进行傅里叶变换或最小二乘法拟合,提取一阶谐波分量作为误差像差项; S53、将误差像差项从测得的低阶像差系数中减去,得到待测物镜401在测量角度下已校正机械误差的低阶像差系数: S54、将校正后的低阶像差系数与测量角度相关的Zernike系数序列中的高阶像差系数相结合,重构出待测物镜401在测量角度下的真实波前强度分布图像。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院合肥物质科学研究院;合肥鉴景心遥空间科技有限公司,其通讯地址为:230031 安徽省合肥市蜀山区蜀山湖路350号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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