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龙图腾网获悉杭州中欣晶圆半导体股份有限公司申请的专利一种外延片的制备装置及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115985813B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211609433.8，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种外延片的制备装置及其制备方法是由徐新华设计研发完成，并于2022-12-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种外延片的制备装置及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种外延片的制备装置及其制备方法，涉及外延片制备技术技术领域，包括：加工台；承载槽，其布设于所述加工台上，以用于承载外延片；滑槽，其设置于承载槽中心端；推板，其滑动布设于滑槽中；驱动机构，其与推板连接，用于驱动推板升降，以通过推板将外延片推出预设高度；还包括：取料组件，其布设在加工台上，用于将外延片置于承载槽中以进行镀膜处理；取料组件包括：第一气缸；吸附机构，其于第一气缸伸缩端连接；放料组件，其布设在加工台上，用于将镀膜完成后的外延片从承载槽中移出；相较于现有的吸附式放料组件，不会对外延片的镀膜层产生影响，且镀膜完成后，可直接将外延片移出，以便于下一外延片进行镀膜。

本发明授权一种外延片的制备装置及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种外延片的制备装置，其特征在于，包括： 加工台1； 承载槽502，其布设于所述加工台1上，以用于承载外延片； 滑槽503，其设置于承载槽502中心端； 推板5，其滑动布设于滑槽503中； 驱动机构，其与推板5连接，用于驱动推板5升降，以通过推板5将外延片推出预设高度； 还包括： 取料组件，其布设在加工台1上，用于将外延片置于承载槽502中以进行镀膜处理； 取料组件包括： 第一气缸403； 吸附机构，其于第一气缸403伸缩端连接； 放料组件，其布设在加工台1上，用于将镀膜完成后的外延片从承载槽502中移出； 放料组件包括： 第二气缸402； 夹持机构，其于第二气缸402伸缩端连接； 移送机构，其布设在加工台1一侧，与取料组件以及放料组件连接，用于取料组件与放料组件进行位置调节； 夹持机构包括与第二气缸402输出端固定连接的支板405，支板405朝向加工台1的一侧转动布设有第一螺杆406，第一螺杆406两侧螺纹旋向相反，第一螺杆406与布设在支板405一侧的第一电机409输出端固定连接，其中，第一螺杆406上相对螺旋套设有与夹持板408固定连接的第一螺母407；在对镀膜后的外延片进行固定时，第二气缸402驱动支板405移动至预设位置，使得夹持板408位于外延片的两端，启动第一电机409驱动第一螺杆406转动，两侧第一螺母407在第一螺杆406上移送的过程中同步驱动夹持板408朝向内侧移动，以实现对外延片的夹持固定； 所述加工台1一侧布设有用于上料的第一输送带102，另一侧布设有用于送料的第二输送带101。

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