朗姆研究公司斯蒂芬·托平获国家专利权
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龙图腾网获悉朗姆研究公司申请的专利静电卡盘的保护涂层获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111886688B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980020652.2，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权静电卡盘的保护涂层是由斯蒂芬·托平;文森特·布克哈特设计研发完成，并于2019-03-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本静电卡盘的保护涂层在说明书摘要公布了：静电卡盘ESC，其包括卡持表面，该卡持表面具有覆盖有氧化硅SiO2、氮化硅Si3N4或二者的组合的至少一部分。可以在衬底处理工具的处理室中原位施加该涂层，并定期将其去除并重新原位施加以产生新鲜的涂层。
本发明授权静电卡盘的保护涂层在权利要求书中公布了：1.一种静电卡盘，其包括具有被布置为卡持衬底的卡持表面的基座，其中所述静电卡盘被配置为在所述卡持表面产生静电力以夹紧衬底，其中所述卡持表面具有包括顶层和底层的多层涂层，其中所述顶层和底层包括氧化硅或氮化硅中的至少一种，其中所述多层涂层减少了所述卡持表面中的电荷陷阱, 其中，所述多层涂层的厚度为50纳米至30微米，其中所述静电卡盘还布置为在保持在升高的温度下的衬底处理室内操作，使得所述氧化硅或氮化硅的电导率增加到一定水平，使得涂覆有所述氧化硅或氮化硅的所述卡持表面生成足够的静电力以夹持所述衬底。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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