东京毅力科创株式会社泽地淳获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利气体供给系统、基板处理装置和气体供给系统的控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112786424B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011144922.1，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权气体供给系统、基板处理装置和气体供给系统的控制方法是由泽地淳;网仓纪彦设计研发完成，并于2020-10-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本气体供给系统、基板处理装置和气体供给系统的控制方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种气体供给系统、基板处理装置和气体供给系统的控制方法，抑制吹扫气体向配管的上游侧的逆流。气体供给系统具有：配管，其供基板处理所使用的处理气体流通；吹扫气体导入管，其与配管连接并且向配管导入吹扫气体；第1阀，其设于配管的比与吹扫气体导入管连接的连接点靠上游侧的位置；第2阀，其设于配管的比第1阀靠上游侧的位置；以及控制部，其在使处理气体向配管流通的情况下，将第1阀以及第2阀维持为开状态，并且在将在配管内流通的气体自处理气体向吹扫气体切换的情况下，将第1阀以及第2阀自开状态向闭状态切换。
本发明授权气体供给系统、基板处理装置和气体供给系统的控制方法在权利要求书中公布了：1.一种气体供给系统，其中， 所述气体供给系统具有： 第1气体供给管，其连接在处理气体源和基板处理腔室之间，所述第1气体供给管具有中间连接点； 第2气体供给管，其连接在吹扫气体源和所述中间连接点之间； 第1阀，其设于所述第1气体供给管上的所述中间连接点的上游侧； 第2阀，其设于所述第1气体供给管上的所述第1阀的上游侧； 第1空气供给管，其连接在空气源和所述第1阀之间，所述第1空气供给管具有分支连接点； 第2空气供给管，其连接在所述分支连接点和所述第2阀之间； 电磁阀，其设于所述第1空气供给管上的所述分支连接点的上游侧；以及 控制部，其控制所述第1阀和所述第2阀，以在用于从所述处理气体源向所述基板处理腔室供给处理气体的第一模式中使所述第1阀和所述第2阀打开，并且在用于从所述吹扫气体源向所述基板处理腔室供给吹扫气体的第二模式中使所述第1阀和所述第2阀关闭； 所述第1阀以及所述第2阀为气动阀， 所述控制部被配置为控制所述电磁阀，以在所述第一模式中使所述电磁阀打开，并且在所述第二模式中使所述电磁阀关闭。
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