琳得科株式会社古野健太获国家专利权
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龙图腾网获悉琳得科株式会社申请的专利套件、及使用该套件的第三层叠体的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112825306B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011302243.2，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权套件、及使用该套件的第三层叠体的制造方法是由古野健太;山本大辅设计研发完成，并于2020-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本套件、及使用该套件的第三层叠体的制造方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种具备第一层叠体5和支撑片10的套件1，所述第一层叠体5中依次层叠有第一剥离膜151、保护膜形成膜13及第二剥离膜152，使用70℃的层压辊将保护膜形成膜13贴附在经镜面加工的硅晶圆的镜面上，完成所述贴附5分钟后的、以100mm分钟的剥离速度、于23℃的温度下测定的保护膜形成膜13与所述硅晶圆之间的180°剥离粘着力为900mN25mm以上。
本发明授权套件、及使用该套件的第三层叠体的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种套件，其具备第一层叠体和支撑片，所述第一层叠体中依次层叠有第一剥离膜、为热固性且为非能量射线固化性的保护膜形成膜及第二剥离膜，所述支撑片用于支撑作为所述保护膜形成膜的保护对象的工件和所述保护膜形成膜，其中， 使用70℃的层压辊，将所述保护膜形成膜贴附在经镜面加工的硅晶圆的镜面上，完成所述贴附5分钟后的、以100mm分钟的剥离速度、于23℃的温度下测定的所述保护膜形成膜与所述硅晶圆之间的180°剥离粘着力为900mN25mm以上， 其中，所述保护膜形成膜由保护膜形成组合物形成，所述保护膜形成组合物包含聚合物成分、固化性成分、填充材料和硅烷偶联剂； 所述聚合物成分为丙烯酸树脂，所述丙烯酸树脂的玻璃化转变温度在-60～50℃的范围内，且所述聚合物成分的重均分子量为10万～120万； 所述固化性成分包含热固化树脂及热固化剂，所述热固化树脂为环氧树脂，所述热固化剂为一分子中具有两个以上能够与环氧基进行反应的官能团的化合物； 所述填充材料为二氧化硅填料； 相对于保护膜形成膜总重量100质量份，所述聚合物成分的含量为5～50质量份，所述固化性成分的含量为1～75质量份，所述填充材料的含量为20～70质量份。
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