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龙图腾网获悉烟台万华电子材料有限公司申请的专利用于硅烷类气体中颗粒物检测的系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223756549U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423126559.7，技术领域涉及：G01N15/06；该实用新型用于硅烷类气体中颗粒物检测的系统是由陈刚军;陈政林;韩雪;邹之隽设计研发完成，并于2024-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于硅烷类气体中颗粒物检测的系统在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种用于硅烷类气体中颗粒物检测的系统，包括吹扫气源、进样吹扫单元、检测单元、余气吹扫单元以及尾气处理单元；进样吹扫单元包括并联设置的抽真空单元和惰性气体置换单元；抽真空单元包括真空泵；惰性气体置换单元包括第一过滤器；检测单元包括高压气体扩散器和粒子计数器；余气吹扫单元包括第一单向阀、第二过滤器、文丘里真空发生器；尾气处理单元包括防倒吸罐和尾气吸收罐；真空泵的出口连接有第二单向阀；防倒吸罐、文丘里真空发生器、第二单向阀的出口管线均插入至尾气吸收罐内的吸收液内。该系统结构简单、操方便，前端进样洁净，检测精度高，尾气经处理后排放，避免直接排放导致的堵塞和污染。

本实用新型用于硅烷类气体中颗粒物检测的系统在权利要求书中公布了：1.一种用于硅烷类气体中颗粒物检测的系统，其特征在于，所述系统包括经管道相连通的吹扫气源5、进样吹扫单元、检测单元、余气吹扫单元以及尾气处理单元；其中， 所述进样吹扫单元包括并联设置的抽真空单元和惰性气体置换单元；所述抽真空单元包括真空泵1011，所述真空泵1011的进口连接至进样管线上，用于对进样管线抽真空；所述惰性气体置换单元包括第一过滤器1021，且其进口连接至所述吹扫气源5的出口、出口连接至进样管线上，用于滤除吹扫气中的颗粒物后对进样管线进行惰性气体置换； 所述检测单元包括通过管线依次连接的高压气体扩散器201和粒子计数器202，且通过高压气体扩散器201的进口连接至进样管线上，用于对进料的样品气依次进行减压和颗粒物检测；所述高压气体扩散器201还设置有余气出口，用于输出多余样品气；所述样品气包括硅烷气体； 所述余气吹扫单元包括通过管线依次连接的第一单向阀301、第二过滤器302、文丘里真空发生器303；所述第一单向阀301的进口连接至所述吹扫气源5的出口；所述文丘里真空发生器303还设置有余气进口，且其余气进口连接至所述高压气体扩散器201的余气出口，用于通入来自所述高压气体扩散器201的多余样品气； 所述尾气处理单元包括通过管线依次连接的防倒吸罐401和尾气吸收罐402，且所述防倒吸罐401的进口连接至所述粒子计数器202的出口，所述防倒吸罐401的出口管线插入至所述尾气吸收罐402内的吸收液内，用于将来自所述粒子计数器202的尾气送至所述尾气吸收罐402内进行吸收； 所述文丘里真空发生器303的出口管线插入至所述尾气吸收罐402内的吸收液内； 所述真空泵1011的出口连接有第二单向阀1012，所述第二单向阀1012的出口管线插入至所述尾气吸收罐402内的吸收液内。

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