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龙图腾网获悉意法半导体股份有限公司申请的专利有改善机械属性的可变形结构的压电致动器及其制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113620232B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110489899.8，技术领域涉及：B81B3/00；该发明授权有改善机械属性的可变形结构的压电致动器及其制造方法是由D·朱斯蒂;M·费雷拉;C·L·佩瑞里尼设计研发完成，并于2021-05-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本有改善机械属性的可变形结构的压电致动器及其制造方法在说明书摘要公布了：本公开的实施例涉及有改善机械属性的可变形结构的压电致动器及其制造方法。MEMS致动器由围绕腔体的本体和可变形结构形成，可变形结构悬置在腔体上并且由可移动部分和多个可变形元件形成。可变形元件彼此连续地布置，将可移动部分连接到本体，并且每个可变形元件经受变形。MEMS致动器还包括至少一组多个致动结构，致动结构由可变形元件支撑并且被配置为使得可移动部分的平移大于每个可变形元件的变形。每个致动结构具有相应第一压电区域。

本发明授权有改善机械属性的可变形结构的压电致动器及其制造方法在权利要求书中公布了：1.一种MEMS致动器，包括： 围绕腔体的本体； 悬挂在所述腔体上的可变形结构，所述可变形结构包括： 可移动部分； 连续布置的多个可变形元件，所述多个可变形元件将所述可移动部分连接到所述本体，并且每个可变形元件均会发生变形； 由所述可变形元件支撑的至少一组多个致动结构，所述至少一组多个致动结构被配置为，使所述可移动部分的平移大于所述多个可变形元件中的每个可变形元件的变形，所述致动结构中的每个致动结构包括相应第一压电区域，其中所述第一压电区域是薄膜压电层； 其中： 所述可变形元件具有大体环形形状且围绕所述可移动部分； 所述至少一组多个致动结构是第一多个致动结构，所述第一多个致动结构被配置为使所述可变形结构变形并且使所述可移动部分沿着第一方向移动；并且 所述MEMS致动器还包括第二多个致动结构，所述第二多个致动结构中的每个致动结构包括与所述第一压电区域相等的相应压电区域，所述第二多个致动结构被配置为使所述可变形结构变形并且使所述可移动部分沿着与所述第一方向相反的第二方向移动；并且 所述第一多个致动结构和所述第二多个致动结构中的致动结构连续地交替布置在所述可变形元件中的每个可变形元件上； 其中所述可变形结构包括多个臂；所述多个臂中的第一臂在所述本体与所述多个可变形元件之间延伸；所述多个臂中的第二臂在所述多个可变形元件中的相邻可变形元件之间延伸，所述多个臂中的第三臂在所述多个可变形元件与所述可移动部分之间延伸，其中所述第二臂将所述可变形元件上的所述第一多个致动结构中的致动结构耦联至所述相邻可变形元件上的所述第二多个致动结构中的致动结构；并且 其中所述可变形结构还包括多个加强结构，所述多个加强结构由所述可变形元件支撑在相对于所述第一多个致动结构中的致动结构的相对侧上，每个加强结构被布置在所述第一多个致动结构中的相应致动结构的中心部分处并且与所述多个臂中的相应一个臂集成。

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