京东方科技集团股份有限公司谭秋云获国家专利权
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龙图腾网获悉京东方科技集团股份有限公司申请的专利微型机电系统开关及微型机电系统开关的制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115249601B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210908030.7,技术领域涉及:H01H59/00;该发明授权微型机电系统开关及微型机电系统开关的制备方法是由谭秋云;孟虎设计研发完成,并于2022-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本微型机电系统开关及微型机电系统开关的制备方法在说明书摘要公布了:本申请实施例提供了一种微型机电系统开关及微型机电系统开关的制备方法。该微型机电系统开关包括:衬底;信号线,设置在衬底一侧;开关梁,位于信号线远离衬底的一侧,开关梁设有容置孔,容置孔在衬底上的正投影位于信号线在衬底上的正投影内;导电部,与信号线连接且位于信号线和开关梁之间,导电部在衬底上的正投影位于容置孔在衬底上的正投影内。本申请实施例能够有效提高关态电容与开态电容的电容比,从而提高微型机电系统开关的射频性能。
本发明授权微型机电系统开关及微型机电系统开关的制备方法在权利要求书中公布了:1.一种微型机电系统开关,其特征在于,包括: 衬底; 信号线,设置在所述衬底一侧; 开关梁,位于所述信号线远离所述衬底的一侧,所述开关梁设有容置孔,所述容置孔在所述衬底上的正投影位于所述信号线在所述衬底上的正投影内; 导电部,与所述信号线连接且位于所述信号线和所述开关梁之间,所述导电部在所述衬底上的正投影位于所述容置孔在所述衬底上的正投影内; 所述导电部和所述容置孔的数量均为一个;或者, 所述导电部和所述容置孔的数量均为至少两个,所述导电部与所述容置孔一一对应设置,且至少两个所述导电部呈阵列排布,至少两个所述容置孔呈阵列排布。
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