株式会社斯库林集团冲田有史获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利基板处理方法及基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115668461B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180040992.9，技术领域涉及：H10P50/60；该发明授权基板处理方法及基板处理装置是由冲田有史;犹原英司;角间央章;增井达哉;出羽裕一设计研发完成，并于2021-05-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理方法及基板处理装置在说明书摘要公布了：在第一吐出工序中，对设于供给管的阀输出开信号，从喷嘴30的前端向基板W的主面吐出处理液。在移动工序中，在对阀输出闭信号的时间点以后，使喷嘴30移动。在拍摄工序中，至少在对阀输出闭信号的时间点以后使摄像机依次拍摄，取得多个图像数据。在设定工序中，检测多个图像数据的每一个中的喷嘴30的位置，追踪喷嘴30的位置变化，在比喷嘴30的前端靠下侧设定判定区域R11。在漏液监视步骤中，基于多个图像数据的每一个中的判定区域R11内的像素，监视从喷嘴30的前端落下的处理液的有无。
本发明授权基板处理方法及基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理方法，其特征在于，具备： 保持工序，保持基板； 第一吐出工序，对设于供给管的阀输出开信号，从连接于上述供给管的第一喷嘴的前端向上述基板的主面吐出处理液； 移动工序，在对上述阀输出闭信号而使上述第一吐出工序结束的时间点以后，使上述第一喷嘴移动； 拍摄工序，至少在对上述阀输出闭信号的时间点以后的上述移动工序中的上述第一喷嘴的移动中，使摄像机对包含上述第一喷嘴的上述前端的预定区域依次进行拍摄，取得多个图像数据； 设定工序，检测在对上述阀输出闭信号后的状态下在上述第一喷嘴的移动中所取得的上述多个图像数据的每一个中的上述第一喷嘴的位置，使判定区域追踪上述多个图像数据间的上述第一喷嘴的位置变化，在比上述第一喷嘴的上述前端靠下侧设定上述判定区域；以及 漏液监视工序，基于在对上述阀输出闭信号后的状态下在上述第一喷嘴的移动中所取得的上述多个图像数据的每一个中的上述判定区域内的像素，监视从上述第一喷嘴的上述前端落下的处理液的有无。
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