太原科技大学刘渊获国家专利权
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龙图腾网获悉太原科技大学申请的专利一种基于硅片加工的飞秒激光打孔装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223762418U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520052319.2，技术领域涉及：B23K26/382；该实用新型一种基于硅片加工的飞秒激光打孔装置是由刘渊设计研发完成，并于2025-01-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于硅片加工的飞秒激光打孔装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种基于硅片加工的飞秒激光打孔装置，该基于硅片加工的飞秒激光打孔装置，包括底座，底座上设有吸尘箱，吸尘箱的顶部可拆安装有打孔工件，打孔工件的上方设有激光头，激光头通过第一驱动件于第一方向移动、通过第二驱动件于第二方向移动，第一方向和第二方向均为水平方向且相互垂直；所述激光头外设有负压筒以从打孔工件上方除尘；打孔工件上分布有负压孔，且负压孔的分布与待打孔位置一致，所述吸尘箱内设有与负压孔连通的负压空间，所述负压空间对应的吸尘箱上设有第一负压口，第一负压口和负压筒通过软管连接负压设备。该基于硅片加工的飞秒激光打孔装置，可以从上下两个方位全面除尘，达到了较好的除尘效果。
本实用新型一种基于硅片加工的飞秒激光打孔装置在权利要求书中公布了：1.一种基于硅片加工的飞秒激光打孔装置，其特征在于，包括底座，所述底座上设有吸尘箱，所述吸尘箱的顶部可拆安装有打孔工件，所述打孔工件的上方设有激光头，所述激光头通过第一驱动件于第一方向移动、通过第二驱动件于第二方向移动，所述第一方向和第二方向均为水平方向且相互垂直； 所述激光头外设有负压筒，以从打孔工件上方除尘；所述打孔工件上分布有负压孔，所述负压孔的分布与待打孔位置一致，所述吸尘箱内设有与负压孔连通的负压空间，所述负压空间对应的吸尘箱上设有第一负压口，所述第一负压口和负压筒通过软管连接负压设备。
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