日月新半导体(威海)有限公司王韦杰获国家专利权
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龙图腾网获悉日月新半导体(威海)有限公司申请的专利一种全自动晶圆减薄机获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223762946U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422792594.6,技术领域涉及:B24B37/04;该实用新型一种全自动晶圆减薄机是由王韦杰设计研发完成,并于2024-11-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种全自动晶圆减薄机在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种全自动晶圆减薄机,包括箱体,所述箱体的正面活动安装有箱门,所述箱体内腔的顶部固定安装有伸缩气缸,所述伸缩气缸的输出端固定安装有伺服电机,所述伺服电机的输出端传动连接有研磨片,所述箱体内腔的顶部固定安装有两个电动伸缩杆;本实用新型通过设置多个开关式雾化喷头,并且环管和开关式雾化喷头可以通过电动伸缩杆调节高度,并开启和闭合不同开关式雾化喷头,从而调节出水方向便于对晶圆减薄作业周边进行均匀雾化喷洒,有助于辅助进行减薄作业,并且水流通过滤网框过滤后进行循环使用,而且方便作业人员取出滤网框,并将过滤后的杂质带出,便于作业和回收。
本实用新型一种全自动晶圆减薄机在权利要求书中公布了:1.一种全自动晶圆减薄机,包括箱体1,其特征在于:所述箱体1的正面活动安装有箱门2,所述箱体1内腔的顶部固定安装有伸缩气缸7,所述伸缩气缸7的输出端固定安装有伺服电机8,所述伺服电机8的输出端传动连接有研磨片9,所述箱体1内腔的顶部固定安装有两个电动伸缩杆11,两个所述电动伸缩杆11的输出端固定安装有环管12,所述环管12的内侧连通有若干开关式雾化喷头13,所述箱体1的内部固定安装有透水板14,所述透水板14的内侧固定套接有圆座20,所述圆座20的底部固定安装有薄层软质垫26,所述圆座20的顶端和薄层软质垫26的内部开设有若干封堵槽21,所述封堵槽21的内部活动套接有封堵头22,所述圆座20的内部开设有若干环槽23,所述环槽23的内部活动套接有环形密封活塞24,所述环形密封活塞24的底部固定安装有若干支杆25,所述支杆25的底端固定安装有支撑板19,所述支撑板19的底部固定安装有可调行程气缸16,所述可调行程气缸16的底端固定安装有短支板15,所述箱体1的内部固定安装有两个滑板18,两个所述滑板18的顶部滑动安装有滤网框17,所述箱体1的外侧固定安装有水泵4,所述水泵4的输入端连通有输入管6,所述水泵4的输出端连通有输出管5,所述输出管5的另一端连通有输水软管10。
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