中机半导体材料(深圳)有限公司王鑫获国家专利权
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龙图腾网获悉中机半导体材料(深圳)有限公司申请的专利一种研磨盘的通电研磨装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223762948U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520282412.2,技术领域涉及:B24B37/04;该实用新型一种研磨盘的通电研磨装置是由王鑫;陈斌;刘胥冠;陈冬莉;赵庆振设计研发完成,并于2025-02-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种研磨盘的通电研磨装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种研磨盘的通电研磨装置,包括机体,所述机体内设置有可旋转的转台,所述转台内设置有供电单元,所述转台上设置有与其同步转动的基板,所述供电单元与基板连接,所述基板上设置有与其同步转动的研磨软垫,且研磨软垫卡接在基板上,所述供电单元通过基板向研磨软垫导电。该研磨盘的通电研磨装置,通过供电单元、导电单元与耳板等结构,能让研磨工作中的研磨液发生电离,电离作用能提高研磨液的流动性和粘附性,有助于磨料的均匀分布和更好的润滑效果,从而进一步提升整体的研磨效果,同时,在研磨液发生电离后,会生成带电粒子和自由基,这些带电粒子能够显著增强磨料与工件表面之间的相互作用,以提高研磨效率。
本实用新型一种研磨盘的通电研磨装置在权利要求书中公布了:1.一种研磨盘的通电研磨装置,包括机体100,其特征在于:所述机体100内设置有可旋转的转台200,所述转台200内设置有供电单元400,所述转台200上设置有与其同步转动的基板300,所述供电单元400与基板300连接,所述基板300上设置有与其同步转动的研磨软垫500,且研磨软垫500卡接在基板300上,所述供电单元400通过基板300向研磨软垫500导电。
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