北京科翰龙半导体装备科技有限公司王向阳获国家专利权
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龙图腾网获悉北京科翰龙半导体装备科技有限公司申请的专利一种晶圆取放机械臂获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223763228U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520185886.5，技术领域涉及：B25J9/04；该实用新型一种晶圆取放机械臂是由王向阳设计研发完成，并于2025-02-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆取放机械臂在说明书摘要公布了：本实用新型涉及晶圆加工设备技术领域，具体为一种晶圆取放机械臂，包括手臂屈伸机构、手臂旋转机构、手臂升降机构，手臂屈伸机构采用伺服电机加三级的同步带传动方式，手臂旋转机构采用伺服电机加双级的同步带来实现，手臂升降机构由伺服电机加滚珠丝杠来实现，同时运用导轨滑块组件来保证升降运动的平稳。该晶圆取放机械臂中，手臂屈伸机构采用伺服电机加三级同步带传动方式，确保了机械臂在伸缩过程中的高精度和稳定性，有效减少了位置偏差和速度波动。手臂旋转机构和升降机构同样采用伺服电机驱动，并辅以同步带和滚珠丝杠等高精度传动元件，进一步提升了机械臂在旋转和升降方向上的控制精度和稳定性。
本实用新型一种晶圆取放机械臂在权利要求书中公布了：1.一种晶圆取放机械臂，包括手臂屈伸机构1、手臂旋转机构2、手臂升降机构3，其特征在于：手臂屈伸机构1采用伺服电机加三级的同步带传动方式，所述手臂旋转机构2采用伺服电机加双级的同步带来实现，所述手臂升降机构3由伺服电机加滚珠丝杠来实现，同时运用导轨滑块组件来保证升降运动的平稳； 所述手臂屈伸机构1包括旋转固定轴15，所述旋转固定轴15的底部安装有第一伺服电机11，所述第一伺服电机11的输出轴通过一级同步带13传动至第一转轴14，所述第一转轴14的顶端安装有第一机械臂20，所述第一转轴14的上端通过二级同步带201传动至第二转轴202，所述第二转轴202的顶端安装有第二机械臂30，所述第二转轴202的上端通过三级同步带301传动至第三转轴302，所述第三转轴302的顶端安装有连接板303，所述连接板303上安装有真空手指304。
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