浙江创芯集成电路有限公司陈聪获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利薄膜切割设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223763364U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423153390.4，技术领域涉及：B26D7/26；该实用新型薄膜切割设备是由陈聪;郭东谕;李平;宋喆宏设计研发完成，并于2024-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本薄膜切割设备在说明书摘要公布了：本公开实施例提供一种薄膜切割设备，用于去除覆盖于晶圆上的薄膜，晶圆具有缺口标记，薄膜切割设备包括：承载晶圆的载台；设置于载台上方，向薄膜的第一端面发射探测光束的激光器；设置于载台上方，接收经薄膜的第一端面反射的反射光束，并生成探测信号的探测器；设置于载台上方，切割位于缺口标记上的薄膜的第一切割工具，第一切割工具具有多个刀具，各个刀具之间独立控制，且一个刀具的切割部的形状对应一个缺口标记的形状；分别与激光器、探测器和第一切割工具电连接，确定被薄膜所覆盖的缺口标记的形状的处理器，其中，缺口标记的形状基于探测信号所表征的光强值确定。采用上述技术方案，能够提升缺口标记的清洁度。
本实用新型薄膜切割设备在权利要求书中公布了：1.一种薄膜切割设备，其特征在于，用于去除覆盖于晶圆上的薄膜，所述晶圆具有缺口标记，所述薄膜切割设备包括： 承载晶圆的载台，所述晶圆的晶背与所述载台相接触，所述薄膜覆盖于所述晶圆的晶面上，所述晶面为所述晶圆远离所述载台的端面； 设置于所述载台上方，向所述薄膜的第一端面发射探测光束的激光器，所述第一端面为所述薄膜远离所述晶圆的端面； 设置于所述载台上方，接收经所述薄膜的第一端面反射的反射光束，并生成探测信号的探测器； 设置于所述载台上方，切割位于所述缺口标记上的薄膜的第一切割工具，所述第一切割工具具有多个刀具，各个刀具之间独立控制，且一个刀具的切割部的形状对应一个缺口标记的形状； 分别与所述激光器、所述探测器和所述第一切割工具电连接，确定被所述薄膜所覆盖的缺口标记的形状的处理器，其中，所述缺口标记的形状基于所述探测信号所表征的光强值确定。
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