重庆万国半导体科技有限公司许体伟获国家专利权
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龙图腾网获悉重庆万国半导体科技有限公司申请的专利垫环自动调节高度装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223763492U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520099487.7,技术领域涉及:B28D5/00;该实用新型垫环自动调节高度装置是由许体伟;刘飞;冯涛设计研发完成,并于2025-01-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本垫环自动调节高度装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体晶圆技术领域,公开了一种垫环自动调节高度装置,包括垫环本体以及设置在垫环本体顶部的工作台盘,所述垫环本体的底部设置有用于调节垫环本体高度的高度调节结构,且在所述垫环本体上设置有用于调平工作台盘的调平结构。通过高度调节结构和调平结构的配合使用,能够调整垫环本体和工作台盘的高度,即使在更换垫环本体后,也能够便于调整与环切机的对应结构之间的距离,调平结构能够在高度调整合适后,对应平整度未达到要求的情况进行调整,以保证工作台盘能够保持平整,以保证晶圆的加工。
本实用新型垫环自动调节高度装置在权利要求书中公布了:1.一种垫环自动调节高度装置,包括垫环本体以及设置在垫环本体顶部的工作台盘,其特征在于:所述垫环本体的底部设置有用于调节垫环本体高度的高度调节结构,且在所述垫环本体上设置有用于调平工作台盘的调平结构。
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