武汉芯丰精密科技有限公司万先进获国家专利权
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龙图腾网获悉武汉芯丰精密科技有限公司申请的专利一种厚度检测机构及晶圆减薄设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223772456U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423241152.9，技术领域涉及：H10P74/20；该实用新型一种厚度检测机构及晶圆减薄设备是由万先进;黄骏;朱松;尤国振;锁志勇;魏兴亮;边逸军设计研发完成，并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种厚度检测机构及晶圆减薄设备在说明书摘要公布了：本实用新型属于厚度检测技术领域，公开了一种厚度检测机构及晶圆减薄设备。该厚度检测机构包括安装底座、第一接触检测模组和非接触检测模组。第一接触检测模组设置在安装底座上，用于实时检测工件处于第一加工阶段的厚度。非接触检测模组设置在安装底座上，用于实时检测工件处于第二加工阶段的厚度。本实用新型的厚度检测机构的结构自主设计安装，结构紧凑稳定，通过对不同加工阶段的工件采取不同加工方式的手段，能够提高检测结果的准确性。本实用新型的晶圆减薄设备，使用上述的厚度检测机构，能够保护晶圆表面不被划伤。
本实用新型一种厚度检测机构及晶圆减薄设备在权利要求书中公布了：1.一种厚度检测机构，其特征在于，包括： 安装底座30； 第一接触检测模组，设置在所述安装底座30上，用于实时检测工件处于第一加工阶段的厚度； 非接触检测模组32，设置在所述安装底座30上，用于实时检测所述工件处于第二加工阶段的厚度。
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