株式会社国际电气境正宪获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉株式会社国际电气申请的专利基板处理装置、半导体装置的制造方法及计算机可读记录介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114207776B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980098711.8，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权基板处理装置、半导体装置的制造方法及计算机可读记录介质是由境正宪;川岸隆之;山本一良;锻治隆一;馆祐太设计研发完成，并于2019-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置、半导体装置的制造方法及计算机可读记录介质在说明书摘要公布了：本发明提供如下结构：获取与作为异常预兆检测对象的部件有关的传感器数据来生成正常模型，并基于该正常模型来监视装置的状态，在作为异常预兆检测对象的部件的维护后，获取传感器数据并根据该传感器数据再次生成正常模型，基于该正常模型来监视装置的状态，在装置异常停止之前检测异常的预兆。
本发明授权基板处理装置、半导体装置的制造方法及计算机可读记录介质在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，具备：主控制部，该主控制部进行控制，以执行包括多个步骤的工艺制程来对基板实施预定的处理；以及预兆检测部，该预兆检测部获取与作为异常预兆检测对象的部件相关的传感器数据来生成正常模型，基于该正常模型来监视装置的状态，其特征在于， 所述预兆检测部在所述作为异常预兆检测对象的部件的更换或维护后，获取所述传感器数据并根据该传感器数据获取构成所述工艺制程的各步骤中的指定步骤中的所述传感器数据中的、由振动传感器检测出的振动数据， 将获取到的所述振动数据变换为振动频谱， 以预定的频率间隔提取变换后的所述振动频谱，针对提取出的每个频率，使用正常时的所述工艺制程的预定次数的量的数据来计算所述振动频谱的振幅的平均值和标准偏差，使用得到的所述振动频谱的振幅的平均值和标准偏差来再次生成所述正常模型， 基于该正常模型来监视所述装置的状态，在所述装置异常停止之前检测异常的预兆。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社国际电气，其通讯地址为：日本东京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励