细美事有限公司李相旼获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利用于处理基板的装置和联接支撑单元的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114551290B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111403535.X，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权用于处理基板的装置和联接支撑单元的方法是由李相旼;尹堵铉设计研发完成，并于2021-11-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于处理基板的装置和联接支撑单元的方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种处理基板的装置，包括：处理腔室，其包括彼此结合以在其中形成用于处理基板的处理空间的第一主体和第二主体；驱动器，其将处理腔室移动至打开位置或关闭位置；支撑单元，其在处理空间内支撑基板；和流体供应单元，其向处理空间供应流体，其中支撑单元包括：支撑销，其联接至第一主体或第二主体；和引导构件，其联接至支撑销并且沿支撑销的侧向方向延伸以支撑基板。
本发明授权用于处理基板的装置和联接支撑单元的方法在权利要求书中公布了：1.一种用于处理基板的装置，所述装置包括： 处理腔室，所述处理腔室包括彼此结合以在其中形成用于处理基板的处理空间的第一主体和第二主体； 驱动器，所述驱动器被配置为将所述处理腔室移动至打开位置或关闭位置； 支撑单元，所述支撑单元被配置为在所述处理空间内支撑所述基板；和 流体供应单元，所述流体供应单元被配置为向所述处理空间供应流体， 其中所述支撑单元包括： 支撑销，所述支撑销联接至所述第一主体或所述第二主体，所述支撑销包括主体部和凹部；和 引导构件，所述引导构件联接至所述支撑销并且沿所述支撑销的侧向方向延伸以支撑所述基板， 其中，所述引导构件通过环构件固定至所述支撑销的所述主体部，所述环构件联接至所述支撑销的所述凹部并防止所述引导构件分离。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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