株式会社斯库林集团藤内裕史获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利衬底处理装置及衬底处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114582783B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111442998.7，技术领域涉及：H10P72/76；该发明授权衬底处理装置及衬底处理方法是由藤内裕史设计研发完成，并于2021-11-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本衬底处理装置及衬底处理方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种衬底处理装置及衬底处理方法。本发明是对衬底进行特定处理的衬底处理装置，所述装置包含以下要素。保持机构具备：多个支撑销，跨及保持位置与交接位置之间而旋动；第1磁力部，通过切换周围的磁极来使所述各支撑销旋动到所述保持位置及所述交接位置；以及第2磁力部，始终对所述第1磁力部赋予磁场，使所述各支撑销旋动到所述保持位置；切换机构在正常情况下，不对所述第1磁力部赋予第3磁力部的磁场，只有在衬底交接时，才对所述第1磁力部赋予所述第3磁力部的磁场，使得所述各支撑销旋动到所述交接位置。
本发明授权衬底处理装置及衬底处理方法在权利要求书中公布了：1.一种衬底处理装置，对衬底进行特定处理，所述装置包含以下要素，即： 旋转台，构成为能够绕铅直轴旋转； 旋转驱动构件，在水平面内旋转驱动所述旋转台；以及 保持机构，将衬底以与所述旋转台的上表面分离的状态呈水平姿势保持； 所述保持机构具备： 多个支撑销，在所述旋转台的外周侧的上表面上绕铅直轴旋动自如地设置，且跨及保持位置与交接位置之间而旋动，所述保持位置是抵接于衬底周缘以限制衬底向水平方向移动的位置，所述交接位置是与衬底周缘分离而允许衬底移动的位置； 第1磁力部，通过切换周围的磁极来使所述各支撑销旋动到所述保持位置及所述交接位置；以及 第2磁力部，始终对所述第1磁力部赋予磁场，使所述各支撑销旋动到所述保持位置； 所述衬底处理装置更包含： 切换机构，具备具有比所述第2磁力部的磁力大的磁力的第3磁力部，且在正常情况下，不对所述第1磁力部赋予所述第3磁力部的磁场，只有在衬底交接时，才对所述第1磁力部赋予所述第3磁力部的磁场，使得所述各支撑销旋动到所述交接位置；且 所述第1磁力部及所述第2磁力部配置于在俯视下以所述旋转台的旋转中心为中心的同一圆周上。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社斯库林集团，其通讯地址为：日本京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励