昭和电工材料株式会社田泽强获国家专利权
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龙图腾网获悉昭和电工材料株式会社申请的专利半导体装置的制造方法、以及切割晶粒接合一体型膜及其制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114730706B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080078717.1,技术领域涉及:C09J201/00;该发明授权半导体装置的制造方法、以及切割晶粒接合一体型膜及其制造方法是由田泽强;木村尚弘;森修一设计研发完成,并于2020-07-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体装置的制造方法、以及切割晶粒接合一体型膜及其制造方法在说明书摘要公布了:本发明的一方面所涉及的切割晶粒接合一体型膜具备:基材层、胶黏剂层及压敏胶黏剂层,所述压敏胶黏剂层配置于基材层与胶黏剂层之间且具有通过活性能量射线的照射而相对于胶黏剂层的胶接力预先下降的第一区域,在温度23℃下、剥离角度30°及剥离速度60mm分钟的条件下所测定的第一区域相对于胶黏剂层的胶接力为6.0N25mm以上且12.5N25mm以下。
本发明授权半导体装置的制造方法、以及切割晶粒接合一体型膜及其制造方法在权利要求书中公布了:1.一种半导体装置的制造方法,其包括: A准备切割晶粒接合一体型膜的工序,依次层叠有基材层、压敏胶黏剂层及胶黏剂层,所述压敏胶黏剂层具有第一区域,所述第一区域通过活性能量射线的照射而相对于所述胶黏剂层的胶接力预先下降; B对晶圆进行隐形切割或者利用刀片进行半切割的工序; C在所述胶黏剂层中的与所述第一区域对应的区域贴附所述晶圆的工序; D通过在冷却条件下扩张所述基材层,获得将所述晶圆及所述胶黏剂层单片化而成的带有胶黏剂片的芯片的工序; E通过对所述压敏胶黏剂层照射活化能量射线,使所述压敏胶黏剂层相对于所述带有胶黏剂片的芯片的胶接力降低的工序; F在扩张所述基材层的状态下,从所述压敏胶黏剂层拾取所述带有胶黏剂片的芯片的工序;及 G将所述带有胶黏剂片的芯片安装于基板或其他芯片上的工序, 对A工序中的所述切割晶粒接合一体型膜,在温度23℃下、剥离角度30°及剥离速度60mm分钟的条件下所测定的所述第一区域相对于所述胶黏剂层的胶接力为6.0N25mm以上且12.5N25mm以下。
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