株式会社斯库林集团柏野翔伍获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利狭缝喷嘴及基板处理装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118616274B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311438582.7,技术领域涉及:B05C5/02;该发明授权狭缝喷嘴及基板处理装置是由柏野翔伍;塩田明仁;竹市祐実设计研发完成,并于2023-11-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本狭缝喷嘴及基板处理装置在说明书摘要公布了:本发明提供一种狭缝喷嘴及基板处理装置,其在使刮刀相对于附着有处理液的狭缝喷嘴的前端部抵接的同时相对移动时,可抑制所述前端部的处理液痕的产生或量。本发明具有对狭缝喷嘴的前端部的表面实施了疏液处理的表面处理区域。所述表面处理区域与通过刮刀相对于狭缝喷嘴的相对移动而刮刀的上方端所描绘的抵接轨迹重叠。更具体而言,表面处理区域的下方端与抵接轨迹一致,或位于比抵接轨迹更靠下方处,并且上方端位于比抵接轨迹更靠上方处。因此,通过疏液作用,处理液不会沿着抵接轨迹残存,或者即便残存,处理液的余量也比以往大幅减少。
本发明授权狭缝喷嘴及基板处理装置在权利要求书中公布了:1.一种狭缝喷嘴,具有: 前端面,延伸设置有狭缝状的喷出口,所述喷出口用于将处理液朝向下方喷出,以及 前端部,设置有唇侧面,所述唇侧面从所述前端面的上方朝向所述前端面延伸设置, 在从所述喷出口喷出所述处理液之后,利用在与所述前端部抵接的同时沿所述喷出口的延伸设置方向相对移动的刮刀,从所述前端部刮取所述处理液,所述狭缝喷嘴的特征在于, 所述唇侧面具有实施了疏液处理的表面处理区域, 所述表面处理区域的下方端,位于比所述前端面与所述唇侧面之间的边界更靠上方的位置,并且与通过所述刮刀相对于所述狭缝喷嘴的相对移动而所述刮刀的上方端在所述唇侧面上所描绘的抵接轨迹一致,或位于比所述抵接轨迹更靠下方处,并且 所述表面处理区域的上方端位于比所述抵接轨迹更靠上方处。
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