泰科天润半导体科技(北京)有限公司李昀佶获国家专利权
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龙图腾网获悉泰科天润半导体科技(北京)有限公司申请的专利一种纵向紧凑型沟槽栅碳化硅VDMOS获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223786402U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520099494.7,技术领域涉及:H10D30/66;该实用新型一种纵向紧凑型沟槽栅碳化硅VDMOS是由李昀佶;张长沙;施广彦;何佳设计研发完成,并于2025-01-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种纵向紧凑型沟槽栅碳化硅VDMOS在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种纵向紧凑型沟槽栅碳化硅VDMOS,包括:漂移层下侧面连接至碳化硅衬底上侧面;低阻区下侧面连接至漂移层上侧面;P型源区下侧面连接至低阻区上侧面;P型阱区下侧面连接至低阻区上侧面,P型阱区外侧面连接至P型源区内侧面,P型阱区内设有N型源区,P型阱区内设有一凹槽;绝缘介质层下部设于凹槽内,绝缘介质层外侧面分别连接P型阱区内侧面以及N型源区内侧面,绝缘介质层内设有沟槽;栅极金属层设于沟槽内;源极金属层分别连接P型源区、P型阱区以及N型源区;漏极金属层连接至碳化硅衬底下侧面,实现了器件栅极结构的紧凑设计,降低了器件栅极厚度,提高了器件的功率密度。
本实用新型一种纵向紧凑型沟槽栅碳化硅VDMOS在权利要求书中公布了:1.一种纵向紧凑型沟槽栅碳化硅VDMOS,其特征在于:包括: 碳化硅衬底, 漂移层,所述漂移层下侧面连接至所述碳化硅衬底上侧面; 低阻区,所述低阻区下侧面连接至所述漂移层上侧面; P型源区,所述P型源区下侧面连接至所述低阻区上侧面; P型阱区,所述P型阱区下侧面连接至所述低阻区上侧面,所述P型阱区外侧面连接至所述P型源区内侧面,所述P型阱区内设有N型源区,所述P型阱区内设有一凹槽; 绝缘介质层,所述绝缘介质层下部设于所述凹槽内,所述绝缘介质层外侧面分别连接所述P型阱区内侧面以及N型源区内侧面,所述绝缘介质层内设有沟槽; 栅极金属层,所述栅极金属层设于所述沟槽内; 源极金属层,所述源极金属层分别连接所述P型源区、P型阱区以及N型源区; 以及,漏极金属层,所述漏极金属层连接至所述碳化硅衬底下侧面。
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