合肥伟进科技有限公司王磊获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥伟进科技有限公司申请的专利一种半导体涂胶显影制程用化学品供应机获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223788357U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520126705.1,技术领域涉及:B01F27/2322;该实用新型一种半导体涂胶显影制程用化学品供应机是由王磊设计研发完成,并于2025-01-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体涂胶显影制程用化学品供应机在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体技术领域,公开了一种半导体涂胶显影制程用化学品供应机,包括供料柜体,所述供料柜体的等距设置有三个储料罐,所述储料罐的内部均设置有搅拌机构,所述供料柜体的前部等距设置有操作组件,所述储料罐的后部均设置有三通一,所述三通一的外侧均通过管道与进料管相连接,所述进料管的外端均设置有进料法兰,所述供料柜体的内部设置有安装板,所述储料罐的底部均设置有三通二。本实用新型中,通过搅拌机构与齿轮传动实现高效搅拌,确保化学品均匀混合,解决了现有技术中的搅拌不均和沉淀问题,提升供应稳定性;采用液氮保护层、保温设计和电热膜加热技术,提供温控保障,解决了化学品在存储过程中的温度波动问题。
本实用新型一种半导体涂胶显影制程用化学品供应机在权利要求书中公布了:1.一种半导体涂胶显影制程用化学品供应机,包括供料柜体1,其特征在于:所述供料柜体1的等距设置有三个储料罐9,所述储料罐9的内部均设置有搅拌机构4,所述供料柜体1的前部等距设置有操作组件,所述储料罐9的后部均设置有三通一10,所述三通一10的外侧均通过管道与进料管13相连接,所述进料管13的外端均设置有进料法兰20,所述供料柜体1的内部设置有安装板22,所述储料罐9的底部均设置有三通二16,所述三通二16的外端均设置有出料管21,所述出料管21的外端均设置有出料法兰7。
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