新存科技(武汉)有限责任公司张鼎获国家专利权
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龙图腾网获悉新存科技(武汉)有限责任公司申请的专利一种液体供应系统及半导体设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223788482U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423142053.5,技术领域涉及:B01J4/00;该实用新型一种液体供应系统及半导体设备是由张鼎;金童设计研发完成,并于2024-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种液体供应系统及半导体设备在说明书摘要公布了:本申请提供一种液体供应系统及半导体设备,液体供应系统包括槽体、过滤器、管路和超声波发生装置,槽体用于盛放液体,管路连通槽体和过滤器,用于使液体从槽体流向过滤器,过滤器用于对液体进行过滤。至少部分管路位于超声波发生装置的内部空间中,由于超声波发生装置能够产生超声波,超声波能够实现对液体中气泡的消除,在液体进入过滤器之前消除气泡,从而避免气泡破裂导致滤膜破裂,避免对过滤器造成损伤,进而过滤器的更换周期能够被延长,降低了工艺成本,还能提高液体流量的稳定性。同时,在超声消泡的作用下,避免了气泡堆积对温度检测精确度的影响,搭配加热装置进行实时功率调整,可实现对液体的稳定控温。
本实用新型一种液体供应系统及半导体设备在权利要求书中公布了:1.一种液体供应系统,其特征在于,液体供应系统包括: 槽体和过滤器;所述槽体用于盛放液体,所述过滤器用于对所述液体进行过滤; 连通所述槽体和所述过滤器的管路;所述管路用于使所述液体从所述槽体流向所述过滤器; 超声波发生装置;至少部分所述管路位于所述超声波发生装置的内部空间中;所述超声波发生装置用于产生超声波。
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