买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉江苏科沛达半导体科技有限公司申请的专利一种晶圆底面清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223789042U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422920400.6，技术领域涉及：B08B3/02；该实用新型一种晶圆底面清洗装置是由李继忠;李述周设计研发完成，并于2024-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆底面清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆清洗技术领域的晶圆底面清洗装置，包括负载板；支撑座；旋转轴；保护管；输液管；喷洗嘴；承载盘；驱动机构；限旋组件；多个支撑块；多个定位柱。本实用新型通过设置保护管处于贯穿通道内，并与旋转轴转动配合，可对输液管提供额外的保护和支撑，以此提高输液管的工作稳定性，并减少因旋转而产生的振动和噪声，提升了清洗过程的平稳性和可靠性，再通过限制保护管旋转，令保护管、输液管和喷洗嘴都保持固定，由此使输液管底端无需通过旋转接头与供液系统进行连接，从而延长了整体使用寿命，并避免了旋转接头磨损产生的金属杂质污染清洗液的情况发生，提高了清洗效果。

本实用新型一种晶圆底面清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆底面清洗装置，其特征在于，包括： 负载板，竖直布置； 支撑座，安装于所述负载板一侧； 旋转轴，竖直布置，并转动安装于所述支撑座上，且内部具有同轴设置的贯穿通道； 保护管，穿过所述贯穿通道，并与所述旋转轴转动配合，且两端从所述旋转轴内伸出； 输液管，插装于所述保护管内，且底端伸出所述保护管； 喷洗嘴，安装于所述保护管顶端，且与所述输液管连通； 承载盘，水平布置，并安装于所述旋转轴顶端，且顶面设有与所述喷洗嘴相适配的活动通孔； 驱动机构，安装于所述负载板上，并与所述旋转轴传动连接； 限旋组件，设于所述负载板上，并与所述保护管下端连接； 多个支撑块，安装于所述承载盘顶面，并环绕所述旋转轴布置； 多个定位柱，安装于所述承载盘顶面，并环绕所述旋转轴布置，且位于所述支撑块外周； 其中，所述旋转轴、保护管、输液管、喷洗嘴和承载盘均同轴设置； 支撑盘，安装于所述旋转轴顶端，并活动套设于所述保护管外，且顶面与所述承载盘连接； 导流盖，安装于所述支撑盘顶面，并活动套设于所述喷洗嘴外，且顶部具有圆台，所述圆台顶面具有多个同心嵌套布置的下环板； 其中，所述喷洗嘴外周具有挡环，所述挡环底面设有多个同心嵌套布置的上环板，所述上环板和所述下环板交替排布。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏科沛达半导体科技有限公司，其通讯地址为：221300 江苏省徐州市邳州市邳州经济开发区环城北路海归人才创业园北区1号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。