江西兆驰集成科技有限公司;江西兆驰半导体有限公司杨伟峰获国家专利权
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龙图腾网获悉江西兆驰集成科技有限公司;江西兆驰半导体有限公司申请的专利一种晃动装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223789069U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422805160.5，技术领域涉及：B08B3/08；该实用新型一种晃动装置是由杨伟峰;曾宪瑞;赵晓明;段良飞;董国庆;文国昇;金从龙设计研发完成，并于2024-11-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晃动装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晃动装置，涉及半导体加工技术领域，包括驱动件、托盘、弹性缓冲件以及连动组件；连动组件包括与托盘连接的支架、设于支架上的滑动件以及凸台，凸台的一端面与驱动件连接，另一端面具有尺寸由大依次减小的斜面端部，滑动件抵靠于斜面端部上，以当驱动件驱动凸台转动时，滑动件沿着斜面端部的进行相对运动，以使托盘相对于清洗槽进行往复运动；其中，弹性缓冲件设于清洗槽内，弹性缓冲件的两端分别与托盘和清洗槽连接，以用于对托盘的往复运动进行缓冲。通过该设置，使得托盘在清洗槽内进行往复运动时，具有一定的缓冲和减速，降低托盘在运动时的负载，提高托盘的稳定性和驱动件的使用寿命。
本实用新型一种晃动装置在权利要求书中公布了：1.一种晃动装置，应用于清洗槽内，所述晃动装置包括驱动件和设于所述清洗槽内的托盘，其特征在于，所述晃动装置还包括至少一弹性缓冲件以及设于所述托盘和所述驱动件之间的连动组件； 所述连动组件包括与所述托盘连接的支架、设于所述支架上的滑动件以及凸台，所述凸台的一端面与所述驱动件连接，另一端面具有尺寸由大依次减小的斜面端部，所述滑动件抵靠于所述斜面端部上，以当所述驱动件驱动所述凸台转动时，所述滑动件沿着所述斜面端部的进行相对运动，以使所述托盘相对于所述清洗槽进行往复运动； 其中，所述弹性缓冲件设于所述清洗槽内，所述弹性缓冲件的两端分别与所述托盘和所述清洗槽连接，以用于对所述托盘的往复运动进行缓冲。
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