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龙图腾网获悉东莞汇乐技术股份有限公司申请的专利一种晶圆生产除尘装置的凹面除尘头结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223789101U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520064627.7，技术领域涉及：B08B5/02；该实用新型一种晶圆生产除尘装置的凹面除尘头结构是由王银安;李怀俊;许文棋;楚世赟;迟浩蓬;袁伟杰;蔡俊炜;黄文彬;张科威;李海燕;姚星;陈晓晨设计研发完成，并于2025-01-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆生产除尘装置的凹面除尘头结构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆生产除尘装置的凹面除尘头结构，包括底框，底框的四个边角设有向上延伸竖立的立柱，立柱远离底框的一端设有上框体，底框、立柱与上框体组成安装框架；安装框架中设有除尘机构，除尘机构的上面设有移动机构，移动机构的上面设有气压组件，除尘机构、移动机构与气压组件设置在安装框架中；除尘机构包括除尘头腔体，除尘头腔体的底部设有底板，除尘头腔体与底板一体化成型，除尘头腔体的顶端设有框体密封盖；除尘头腔体的顶部设有开口，除尘头腔体顶端的开口处设有框体密封盖，除尘头腔体内设有正压室。本申请的除尘头通过中间吹尘缝进行吹扫清洁干净，两侧抽吸缝吸引，提高清洁效率。

本实用新型一种晶圆生产除尘装置的凹面除尘头结构在权利要求书中公布了：1.一种晶圆生产除尘装置的凹面除尘头结构，包括：底框21，所述底框21的四个边角设有向上延伸竖立的立柱11，立柱11远离底框21的一端设有上框体12，底框21、立柱11与上框体12组成安装框架；其特征在于，所述安装框架中设有除尘机构31，除尘机构31的上面设有移动机构51，移动机构51的上面设有气压组件61，除尘机构31、移动机构51与气压组件61设置在安装框架中； 除尘机构31包括除尘头腔体32，除尘头腔体32的底部设有底板33，除尘头腔体32与底板33一体化成型，除尘头腔体32的顶端设有框体密封盖34； 除尘头腔体32的顶部设有开口，除尘头腔体32顶端的开口处设有框体密封盖34，除尘头腔体32内设有正压室37，正压室37横向两侧壁由除尘头腔体32内的底板33上向竖直设置，正压室37的顶端距离除尘头腔体32的顶端设有分离间距； 正压室37两侧的外壁与除尘头腔体32内壁之间设有空置间距，除尘头腔体32内壁与正压室37外壁之间的空腔形成负压腔36，正压室37的两侧分别设有负压腔36，两侧的负压腔36设置在除尘头腔体32中。

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