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龙图腾网获悉东莞汇乐技术股份有限公司申请的专利一种晶圆加工清洁装置的悬挂除尘结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223789102U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520064653.X，技术领域涉及：B08B5/02；该实用新型一种晶圆加工清洁装置的悬挂除尘结构是由王银安;李海燕;楚世赟;李怀俊;许文棋;姚星;蔡俊炜;袁伟杰;张科威;黄文彬;迟浩蓬;陈晓晨设计研发完成，并于2025-01-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆加工清洁装置的悬挂除尘结构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆加工清洁装置的悬挂除尘结构，底框的四个边角设有向上延伸竖立的立柱，立柱远离底框的一端设有上框体，底框、立柱与上框体组成安装框架，安装框架中设有安装板；安装板上装设有移动机构，移动机构下面设有除尘机构，除尘机构通过吊挂滑座连接移动机构；除尘机构包括除尘头箱体，除尘头箱体的底部设有底板，除尘头箱体的顶部设有开口，除尘头箱体顶端的开口处设有箱体密封盖；除尘头箱体内设有由底板上向延伸的正压箱，正压箱的顶端距离除尘头箱体的顶端设有分离间距；正压箱远离底板的一端设有正压密封盖。本实用新型的除尘头通过中间吹尘缝进行吹扫清洁干净，四周抽吸缝吸引，粉尘就不会外露，提高清洁效率。

本实用新型一种晶圆加工清洁装置的悬挂除尘结构在权利要求书中公布了：1.一种晶圆加工清洁装置的悬挂除尘结构，包括：底框11，底框11的四个边角设有向上延伸竖立的立柱12，立柱12远离底框11的一端设有上框体13，底框11、立柱12与上框体13组成安装框架，安装框架中设有安装板14； 其特征在于，所述安装板14上装设有移动机构21，移动机构21下面设有除尘机构41，除尘机构41通过吊挂滑座34连接移动机构21； 除尘机构41包括除尘头箱体42，除尘头箱体42的底部设有底板49，除尘头箱体42的顶部设有开口，除尘头箱体42顶端的开口处设有箱体密封盖48；除尘头箱体42内设有由底板49上向延伸的正压箱44，正压箱44的顶端距离除尘头箱体42的顶端设有分离间距； 正压箱44远离底板49的一端设有正压密封盖46，正压密封盖46上设有向上延伸贯穿箱体密封盖48的进风筒47，进风筒47远离正压箱44的一端伸出在箱体密封盖48上面，进风筒47上端连接导管59，进风筒47与正压箱44贯通连接； 正压箱44外壁与除尘头箱体42内壁之间设有分离间距，正压箱44的外侧设有负压腔43，负压腔43设置在除尘头箱体42内壁与正压箱44外壁之间； 箱体密封盖48上设有抽风口57，抽风口57与负压腔43贯通连接；正压箱44与负压腔43分别设置在除尘头箱体42内，正压箱44与负压腔43相互隔离、互不贯通。

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