浙江兆晶新材料科技有限公司;北京中企祥科技有限公司许伟峰获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江兆晶新材料科技有限公司;北京中企祥科技有限公司申请的专利碳化硅晶片抛光装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223790168U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422421163.9,技术领域涉及:B24B29/02;该实用新型碳化硅晶片抛光装置是由许伟峰;翟虎;刘志彪;孙金梅设计研发完成,并于2024-10-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本碳化硅晶片抛光装置在说明书摘要公布了:本公开涉及一种碳化硅晶片抛光装置,包括抛光盘和多组光束组件,所述抛光盘包括上盘和下盘,所述上盘和所述下盘之间用于夹持碳化硅晶片,多组所述光束组件沿所述抛光盘的周向均匀间隔布置。通过上述技术方案,本公开提供的碳化硅晶片抛光装置能够提高碳化硅晶体的抛光均匀性。
本实用新型碳化硅晶片抛光装置在权利要求书中公布了:1.一种碳化硅晶片抛光装置,其特征在于,包括抛光盘和多组光束组件,所述抛光盘包括上盘和下盘,所述上盘和所述下盘之间用于夹持碳化硅晶片,多组所述光束组件沿所述抛光盘的周向均匀间隔布置。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人浙江兆晶新材料科技有限公司;北京中企祥科技有限公司,其通讯地址为:323000 浙江省丽水市莲都区南明山街道绿谷大厦309号国际车城15号楼11层-351;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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